Research

분석 장비 관련 정보입니다.

UHV-STM

Ultra High Vacuum Scanning Tunneling Microscope

Leybold 사의 Turbo Molecular Pump 및 Ion Pump를 사용

2개의 load-lock chamber로 10^-10 의 초고진공까지 가능

Scanning Tunneling Microscope는

금속 혹은 반도체의 표면을 tip으로 scanning 하면서

tunneling current를 detect 하여 topology를 관찰하거나

electrical state를 관찰하는 현미경이다.