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Research

분석 장비 관련 정보입니다.

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FE-SEM

Scanning Electron Microscope 

주사 전자 현미경

 

모델명은 Hitachi 사의 FE-SEM S-4800으로 나노소자와 나노물질의 구조를 관찰하는 목적으로 사용한다.

최대 resolution은 1nm 이하이며 유기물도 고배율에서 관찰이 가능하다.

Detector는 4개로 구성되어 있으며 Upper Detector, Lower Detector, X-ray Detector, STEM Detector가 있다.

이를 통하여 SE,BSE,X-ray를 detect하여 선택적인 관찰이 가능하다.

FE-SEM S-4800의 자세한 사양은 다음과 같다. 

133-791, 서울시 성동구 행당동 17번지 한양대학교 융합전자공학부 나노전자소자 연구실 (Tel : 02-2282-1676, Fax : 2294-1676)
Office : 서울 성동구 왕십리로 222  공업센터별관 보일러동 611-2 / Lab : 서울 성동구 왕십리로 222 퓨전테크센터(FTC) 612

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