| Home | NDL | Research | Patents and Publications | Lecture | Notice/Q&A |
특허 출원
[특허출원] 다층 박막이 증착된 웨이퍼의 뒤틀림 방지를 위한 공정
"다층 박막이 증착된 웨이퍼의 뒤틀림 방지를 위한 공정", 이승백, 설원제, 이정수, 서호준
국내특허출원
출원번호 : 10-2021-0027559
출원일자 : 2021. 03. 02
| Home | NDL | Research | Patents and Publications | Lecture | Notice/Q&A |
특허 출원
[특허출원] 다층 박막이 증착된 웨이퍼의 뒤틀림 방지를 위한 공정
"다층 박막이 증착된 웨이퍼의 뒤틀림 방지를 위한 공정", 이승백, 설원제, 이정수, 서호준
국내특허출원
출원번호 : 10-2021-0027559
출원일자 : 2021. 03. 02