研究設備

RFスパッタリング装置
（酸化物専用）

RFスパッタリング装置
（Si系専用）

高密度プラズマエッチング装置

RFプラズマCVD装置

原子層堆積装置（ALD）

ダイヤモンドCVD

電子線加熱蒸着装置

抵抗線加熱蒸着装置

スクラバ搭載ドラフトチャンバー

ガスライン
(O2, H2, Ar, SF6, CF4等)

マスクアライナ/スピンコータ

マッフル炉

超純水供給装置

酸化拡散炉

赤外線急速加熱炉

UV/O3処理装置

原子間力/プローブ顕微鏡

半導体パラメータアナライザー

LCRメータ

デジタルマイクロスコープ

真空光照射プローバー

真空低温プローバー

プローバー（2台）

プローバー（室温/高温)

四探針抵抗率測定装置

分光光度計