「データ駆動型サイエンス創造センターのご紹介」

これまでの仮説駆動型の科学、すなわち研究者が想定した仮定を実験によって検証する形の科学から、さまざまな形で得られた実験データをもとにそれを説明するモデルを見つけ出す、という「データ駆動型」の科学へとアプローチが変わりつつあると言われています。本センターでは、データ駆動型サイエンスを情報・バイオ・物質及びその融合領域に横断的に展開し、これらの領域における新しい学際融合領域の開拓を行い、先端的研究の展開と、社会の要請に応える柔軟な教育を推進しています。さらに、実験研究と理論研究とAIの各研究分野を密接に連携させ、研究結果から抽出された知見を迅速に次の研究の方向性決定に還元する新しい研究サイクルを実現する「リサーチトランスフォーメーション」プラットフォームを先駆けて構築する活動を開始しました。本講演では、本センターとリサーチトランスフォーメンションへの取り組み特に計測インフォマティクスへの取り組みについて紹介いたします。

"Metrology Informatics on Semiconductor Materials"

  Materials Informatics is a method of exploring and designing new materials using data-driven science. For this purpose, optimizing materials fabrication processes and processing methods for data measurement and analysis are also indispensable. In recent years, it has come to be called process informatics and metrology informatics.  

  Material properties and device characteristics depend highly on the fabrication method, i.e., "process." Therefore, it is necessary to add process conditions in addition to the correlation between physical properties and structure (composition and device configuration). Measurement and analysis are essential to grasp changes in materials due to processes. Therefore, the key is extracting valuable and extensive information from the acquired data.  It is essential to accurately capture material changes caused by process conditions in process development, and quantitative measurement data is required. Using informatics methods will become increasingly important to extract more information from measurement data than ever.  

  In this talk, after describing the importance of metrology informatics from the viewpoint of so-called RX (research transformation), we will introduce examples of metrology informatics mainly related to semiconductors, including our studies, such as the dry etching process of GaN and composition fluctuations of InGaN ternary alloys by using transmission electron microscopy and the related spectroscopy.

材料・デバイスにおける計測インフォマティクス

マテリアルズインフォマティクスにおける計測の役割り

賞名：第13回　日本金属学会まてりあ論文賞

受賞者：岡本和也（日本工業大学大学院・教授）、杉山昌章（大阪大学超高圧電子顕微鏡センター・招聘教授）、武藤俊介（教授）、青柳里果（成蹊大学・教授）、冨谷茂隆（奈良先端科学技術大学院大学・教授）

論文名：先端材料開発に向けた、AI先端計測技術の多角的視点からの考察(第1回)(第2回)