學歷:
國立台灣大學 機械工程 博士
與專長相關之經歷:
國立中興大學 機械系 教授
亞東技術學院 機械系 助理教授
工研院機械所 微機電部 研究員
大騰電子公司 光儲存研發部 主任工程師
專長:
微機電系統
微感測器與微致動器
半導體製程技術
研究方向:
CMOS-MEMS技術應用
RF-MEMS, RFID
整合型微感測器系統
氣體與生物微感測器
奈/微米系統技術研發
教授課程:
大學部:機械材料、半導體製程設備導論、微奈米技術導論、工程數學、專題製作
研究所:微機電系統、微感測器與微致動器、半導體微系統技術
碩專班:微機電系統、微感測器與微致動器