≪製作実績≫

• 洗浄装置

RCS・HF・KOH・塩酸・硫酸・リン酸・王水・

レジスト剥離・メタルエッチ・有機・US洗浄・

薬液調合ユニット・薬液供給ユニット

• 枚葉スピンプロセッサー、枚葉スピンスクラバー

• マスク洗浄機

• ベルジャー洗浄機

• 各種ドラフトチャンバー

• HMDSベーパー塗布乾燥機

• スピンドライヤー

• キャリア洗浄機、キャリアボックス洗浄機

• ウェハーメッキ装置

• 枚葉ポリッシュ装置

• 真空シンター炉

• 真空アニール炉

• スパッタ装置

• コーターデベロッパー

• PBHコーター

• GPコーター

• GP粉取り装置

• ウェハーブラスター装置

• 比抵抗厚み分級装置

• 印字ソーター装置

• テープマウンター装置

• UVテープリムーバー装置

• ワックスマウンター装置、ワックスデマウンター装置

• ウェハー支持基板貼付装置

• CVDボート自動移載装置

• 自動ウェハー移載機

• ウェハー移載治具

• サブマスク露光装置

• レチクルケースストッカー

• ウェハー用クリーンロボット

• 液晶用クリーンロボット

• 中古装置リファブ（制御更新PLC化)

MPA(PLC化・画像処理アライメント)

常圧CVD、研削装置、洗浄・エッチン装置・UVキュア、他