Laboratório de Engenharia de Superfície

Equipamento de deposição de filmes finos

AJA Orion 5-HV Sputtering Systems

ESPECIFICAÇÕES:

- Deposição de filmes finos por magnetron sputtering e/ou evaporação térmica;

- Câmara alcança pressões de base da ordem de 10exp-08 mbar;

- Possibilidade de utilização de dois alvos simultaneamente;

- Duas fontes de potência: corrente contínua (DC) e radio-frequência (RF);

- Pré-câmara (load lock);

- Porta amostras giratório com aquecimento do substrato de até 850oC;

- Dois fluximetros: argônio e nitrogênio, permitindo sputtering reativo.

RESPONSÁVEL:

Prof. Eduardo Tentardini