Equipments
- Main deposition system -
Embedded Files
PEALD (Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition)
PEALD (Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition)
관리자 : 양현 (부 : 김성욱)
NCD Thermal ALD
관리자 : 방현철 (부 : 김규범)
NCD Thermal ALD (Glovebox Integrated)
NCD Thermal ALD (Glovebox Integrated)
관리자 : 김규범 (부 : 김정환)
Circular type Plasma Spatial ALD
관리자 : 안현성 (부 : 김리안)
OLED 증착기 (thermal evaporator)
관리자 : 이명헌 (부 : 최수찬)
Paryelne-C Coater
관리자 : 김정환 (부 : 안현성)
Sputter
관리자 : 안현성 (부 : 김태우)
Inkjet printer
관리자 : 김도연
Main Glove box
관리자 : 김태현 (부 : 김도연)
Spin coater & Hot plate
관리자 : 김규범
Screen Printer
관리자 : 방현철 (부 : 안현성)
원심 분리기
관리자 : 김태현
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