対応サイズ：φ2～12inch

評価項目　：SORI / GBIR / SFQR / SF3R / SFLR等

反り測定範囲　：最大20mm

厚み測定範囲　：2～7600um(屈折率≒1の場合)

SEMI規格に準じた測定項目が解析可能です。さらに、ウエハに応力が加わっていない反り形状が測定可能です。

お客様が測定されたいウエハ及びその支持方法に応じて、カスタマイズいたします。

対応サイズ：φ4～12inch

評価項目　：SORI / GBIR / SFQR / SF3R / SFLR等

反り測定ではウエハの自重たわみを補正して真の反り形状・反り量を算出して評価可能です。

その測定結果から、ベア/成膜応力の解析、サイト評価も可能です。

TAIKOウエハの外周形状を解析することによって、ウエハの加工精度を評価することができます。

ウエハの形状からウエハの応力、単層の成膜応力解析を行います。

加工の工程管理、開発用途でご活用いただけます。