Research Topics

AIのような高機能半導体を製造するうえで、プラズマプロセスは不可欠な基幹技術です。
高精度なプラズマプロセスを実現するためには、プラズマそのものの理解と、材料との相互作用の理解が必要です。

鎌滝研究室では、まずプラズマを正確に計測し、その物理を理解します。
さらに、材料を理解し、材料とプラズマの相互作用を解明します。

そして、そこにAIと、人類が築き上げてきたプラズマ・材料科学の知見を融合させ、
新たなAI-driven frameworkを構築していっています。
物理に基づく予測可能なプラズマプロセスの実現に繋げます。

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