平成２０年度（第一回）
大 賞：エンジン用すべり軸受に施す固体潤滑オーバレイコーティング
大豊工業株式会社、トヨタ自動車株式会社
優秀賞：大気圧プラズマ表面改質技術の開発とその実用化
パナソニック電工株式会社 柴田哲司 氏ら
ＭＶＰ法による細穴内面プラズマ処理・ＤＬＣコーティング法の開発
名古屋大学大学院 上坂裕之 氏
特別賞：マイクロスラリージェットエロージョン（ＭＳＥ）による硬質薄膜の表面強度・
トライボロジー特性の評価試験法の開発
福井大学 岩井 善郎 氏ら、マコー株式会社 松原 亨 氏
平成２１年度（第二回）
大 賞：ディーゼルコモンレールシステム用トライボロジーコーティング技術開発
株式会社デンソー
大 賞：T字状フィルタードアーク蒸着装置と高品質スーパーハードDLC膜の開発
豊橋技術科学大学 滝川 浩史 氏
特別賞：物質置換型高周波誘導加熱ピーニングシステムの実用化
慶応義塾大学 小茂鳥 潤 氏ら
奨励賞：電気防錆加工法の開発研究
岩手大学 西川 尚宏 氏
平成２２年度（第三回）
大 賞：水素フリーDLC膜によるエンジンの超低フリクション化技術
日産自動車㈱ 材料技術部 馬渕 豊 氏ら、日本工業大学 三宅正二郎 氏
優秀賞：ナノ秒パルスレーザ照射を用いた単結晶シリコン機械加工面の表面処理
東北大学 閻 紀旺 氏ら
DLCから進化した高機能膜ICFにおける低温・高硬度水素フリーICF成膜装置の開発
ナノテック㈱ R&Pセクション、平和電源(株) 中森 秀樹 氏ら
特別賞：ナノ粒子含有薄膜形成用コロイドプリカーサプラズマCVD法の開発
日本工業大学 システム工学科 伴 雅人 氏
平成２３年度（第四回）
国際賞：低コスト、高性能なDLCコーティング技術の開発及び産業的応用、事業化を通じての日本との交流 (DLCコーティング技術の最新化およびその産業的応用、事業化を通じて日本との交流)
Youngha Jun 氏
事業賞：酸化チタンとカーボンナノチューブ複合液のコーティングにより開発された、太陽光を効率的に取り込む集熱板
ナノフロンティアテクノロジー株式会社、信州大学
平成２４年度（第五回）
大 賞：ケイ素を利用したトライボ表面処理技術の開発
（株）豊田中央研究所、森 広行 氏ら
優秀賞：真空装置用精密化学研磨
三愛プラント工業（株） クリーンテック事業本部 技術開発センター
平成２５年度（第六回）
事業賞：医工学連携大学発ベンチャーによる国産冠動脈用DLCコートステントの開発と事業化
㈱日本ステントテクノロジー 山下 修蔵 氏、トーヨーエイテック ㈱中谷 達行 氏、岡山県工業技術センター 窪田 真一郎 氏
優秀賞：X線/EUV光学素子開発に適用できる高精度・高平滑多層膜コーティング技術開発とそれを利用した材料・微細構造分析用標準試料の開発
㈱トヤマ 竹中 久貴 氏
優秀賞：マイクロ・ナノスケ―ル三次元DLCコ―ティング：膜特性の評価およびプラズマ挙動解析
東京大学 崔 埈豪 氏
平成２６年度（第七回）
大賞：次世代半導体基板の高能率・高品位加工を実現する革新的な高速圧加工装置と加工条件感応型の特殊粘弾性材料パッドの開発
九州大学 土肥 俊郎 氏ら，不二越機械工業㈱ 市川 大造 氏，フジボウ愛媛株式会社 高木 正孝 氏
優秀賞：大気圧プラズマを用いたナノメータ精度の形状創成、表面仕上げ、表面機能化技術の開発
大阪大学 山村 和也 氏
事業賞：超精密インプリント用金型および型ロール用の快削性が優れた水素吸蔵電析Ni合金めっき技術開発
（株）野村鍍金
平成２７年度（第八回）
大賞：電界砥粒制御技術を用いた表面創成技術
秋田県産業技術センター 赤上 陽一氏ら
優秀賞：PIGプラズマCVD装置の商品化とナノ多層DLCコーティング技術
神港精機（株）寺山 暢之 氏
特別賞：Unbalanced Magnetron Sputter（UBMS）法によるPtナノ粒子/カーボン電極による定電位電解式臭化水素(HBr)ガスセンサの開発
理研計器（株），国立研究開発法人 産業技術総合研究所
平成２８年度（第九回）
優秀賞：微粒子投射処理とDLCなどの硬質薄膜形成技術の複合化
（株）不二 WPC 熊谷 正夫 氏ら
特別賞：レーザ照射を用いたバイオインプラントの骨親和インターフェース創成
東北大学大学院 水谷 正義 氏ら，鶴見大学 早川 徹 氏
特別賞：放電加工によるチタン材の着色仕上げ
地方独立行政法人 大阪府立産業技術総合研究所 南 久 氏，E.D.M.ラボ 増井 清徳 氏
平成２９年度（第十回）
優秀賞：反射分光干渉法を用いた三次元形状体へのコーティング厚みの非破壊測定
大塚電子㈱
事業賞：PVDコーティング膜の品質管理法の確立と普及
㈱アントンパール・ジャパン グウェン ボロレ 氏、Anton Paar GmbH
国際賞・事業賞：人体に優しい、紫色LED を使った、太陽光に近い白色LEDの開発と実用化
カリフォルニア大学サンタ・バーバラ校 中村 修二 氏、Soraa Inc.
平成３０年度（第十一回）
優秀賞・事業賞：脱真空回転霧化式二流体スプレー法を用いた三次元スタック構造半導体デバイスへのコンフォーマル成膜技術
愛知工業大学 清家 善之 氏、九州大学 黒河 周平 氏ら、旭サナック㈱ 宮地 計二 氏ら
特別賞：コールドスプレー法の基礎研究と適用事例の開発
信州大学 榊 和彦 氏
奨励賞：高機能成膜を実現させるアーク抑制型HiPIMS電源の開発
東京電子㈱ 黒岩 雅英 氏ら， 岡山理科大学 中谷 達行 氏ら
令和元年度（第十二回）
大賞・事業賞：2.6nm爆轟法ナノダイヤモンド分散粒子の生産技術の確立とナノダイヤモンドコロイドの事業化
㈱ナノ炭素研究所 大澤 映二 氏（豊橋技術科学大学名誉教授）
特別賞：微細ラティスコーティング技術の開発
コマツNTC㈱ 前花 英一 氏、東北大学大学院 水谷 正義 氏， 厨川 常元 氏
事業賞：加飾成形用金型の製造技術ならびにAI援用技術に基づくIOT化事業
㈱IBUKI 松本 晋一 氏
令和２年度（第十三回）
優秀賞：導電性ダイヤモンドを利用した精密加工工具の開発
富山県立大学 岩井 学 氏、日本工業大学 二ノ宮 進一 氏
特別賞：光輝窒化を可能とするアトム窒化法の開発
㈱プラズマ総合研究所
事業賞：虹色加工を施した金型製作と射出成形品の製作
池上金型工業㈱
令和３年度（第十四回）
優秀賞：摩擦界面in situ観察・AEセンシング研究によるトライボロジー現象の可視化・診断の基盤構築
埼玉工業大学 長谷 亜蘭 氏
特別賞：宇宙探査における次世代型サンプルリターン用固体被膜潤滑剤の開発
株式会社川邑研究所 川邑 正広 氏、国立研究開発法人 宇宙航空研究開発機構 松本 康司 氏
事業賞：金属箔（長尺フープ状）研磨技術の開発
株式会社ティ・ディ・シー
令和４年度（第十五回）
大賞：クレージング現象を利用したナノ多孔高分子フィルムおよび繊維の開発
東海国立大学機構 岐阜大学 武野明義 氏
事業賞：ダイヤモンド成膜工具の刃先先鋭化装置の開発
新明和工業㈱ 産機システム事業部 メカトロ本部
奨励賞：高重力場を援用した高機能 3Dプリンタの開発
慶應義塾大学 小池 綾 氏
令和５年度（第十六回）
事業賞：AIP法による高Al含有立方晶AlCrN皮膜および装置の開発
株式会社 神戸製鋼所
優秀賞：ビトリファイドボンド砥石とフッ素系プラズマを用いたドレスフリー研磨法の開発
大阪大学大学院 孫 栄硯 氏
奨励賞：次世代のマルチレンジ対応型加工プロセスを目指す純氷ブロック砥石の提案と研究開発
宮崎大学 大西 修 氏
令和６年度（第十七回）
大賞：グラッシーカーボンを用いたロール状モスアイ金型の開発
東京理科大学 谷口 淳 氏、ジオマテック㈱ 菅原 浩幸 氏、石橋 佑介 氏、伊藤 常男 氏
優秀賞：液中プラズマCVD法を基盤技術とした鋼表面へのダイヤモンド直接蒸着法の開発
愛媛大学 豊田 洋通 氏、山口大学 白石 僚也 氏
事業賞：DLC膜などに有用なトライボロジー試験機の普及によるトライボコーティング研究支援
島貿易株式会社、PCS Instruments
奨励賞：TiAlNコーティングエンドミルを用いた純ニッケルの工具摩耗機構に及ぼす切削点近傍環境の影響
芝浦工業大学 澤 武一 氏、西山 和樹 氏