Laboratório de Conversão Eletroquímica de Metano por Sputtering
Processo FAPESP 2018/04596-9
O laboratório multiusuário de conversão de metano por rotas eletroquímicas por sputtering consiste em um sistema de deposição por sputtering acoplado a um analisador de gases.
Sistema de deposição por sputtering modelo ORION – 5 da AJA INTERNATIONAL.
Sistema de deposição de filmes finos de óxidos e metais em substratos de até 10 cm de diãmetro. Possibilidade de aquecimento do substrato até 800C. Não possui medidor de espessura. Modelo Orion 5 - AJA International. O usuário externo deve de preferência trazer seiu próprio alvo (5 cm de diâmetro). A utilização por usuários externos está condicionada a análise e aprovação do comitê gestor que envolverá fatores como possível contaminação do sistema dentre outros.
Analisador de gás ThermoStar - Pfeifer
Sistema para análise de gás a pressão ambiente baseado em espectrômetro de massa (quadrupoolo) com limite máximo de 100 amu. O usuário deve providenciar sistema para fornecimento do gás a ser analisado como conexão de gás tipo swagelok.