レーザー
Ti:Sapphireレーザー
1550nm帯ファイバーレーザー
Nd:YAGレーザー(5ns, 10Hz)
He-Cdレーザー
Arレーザー
測定器
InGaAs検出機
光スペクトルアナライザー
その他
3元RFマグネトロンスパッタ
管状炉