재료를 기판 위에 균일한 두께로 형성
재료를 기판 위에 균일한 두께로 형성
표면 개질 및 오염 제거
전기도금 장비
재료를 기판에 균일하게 코팅
재료를 기판에 균일하게 코팅
진공 증착 장비
진공 증착 장비
진공 증착 장비
산소나 수분에 민감한 재료의 공정 및 보관하기 위해 불활성 가스 분위기를 제공하는 장비
화학적 증착 장비
초음파 세척
이온이나 불순물이 제거된 초순수한 물(탈이온수)을 생산하여 실험 및 세정에 사용하는 장비
밀도 차이에 따른 성분 분리 장비
온도 조절 장비
온도 조절 장비
Total transmittance and total reflectance meausrement
투과도 측정
광 산란 특성 측정
외부양자효율(EQE) 측정
면저항 측정
시료의 표면 구조나 미세한 형상을 광학적으로 확대 관찰
전기적 특성(전류-전압)을 정밀하게 측정하는 장치
온도 가변 전기적 특성 측정
박막의 두께 및 표면 형상 측정
반도체 전기적 특성 평가
태양광을 인공적으로 재현하여 태양전지, 광촉매 등의 광반응 성능을 실험 장비
수용액의 pH 측정
용액 증착 필름 두께 측정
실시간으로 시료의 표면 구조나 미세한 형상을 광학적으로 확대 관찰