재료를 기판 위에 균일한 두께로 형성
용액 상태의 코팅 재료를 미세한 입자 형태로 분사
표면 개질 및 오염 제거
전기도금 장비
재료를 기판에 균일하게 코팅
재료를 기판에 균일하게 코팅
진공 증착 장비
진공 증착 장비
진공 증착 장비
산소나 수분에 민감한 재료의 공정 및 보관하기 위해 불활성 가스 분위기를 제공하는 장비
이온이나 불순물이 제거된 초순수한 물(탈이온수)을 생산하여 실험 및 세정에 사용하는 장비
화학적 증착 장비
초음파 세척
Total transmittance and total reflectance meausrement
투과도 측정
광 산란 특성 측정
외부양자효율(EQE) 측정
면저항 측정
시료의 표면 구조나 미세한 형상을 광학적으로 확대 관찰
전기적 특성(전류-전압)을 정밀하게 측정하는 장치
온도 가변 전기적 특성 측정
박막의 두께 및 표면 형상 측정
반도체 전기적 특성 평가
태양광을 인공적으로 재현하여 태양전지, 광촉매 등의 광반응 성능을 실험 장비
수용액의 pH 측정
용액 증착 필름 두께 측정