Assim como qualquer microscópio, a função primária do microscópio eletrônico de varredura (MEV) é ampliar pequenos recursos ou objetos que de outra forma seriam invisíveis à visão humana. Ele faz isso por meio do uso de feixe de elétrons em vez de luz, que é usada para formar imagens em microscópios de luz ótica. As imagens são obtidas por meio da varredura de um feixe de elétrons de alta energia na superfície da amostra, daí o nome de microscópio eletrônico de varredura. Em virtude de seu comprimento de onda menor, os elétrons são capazes de resolver características/detalhes mais finos de materiais em uma extensão muito maior em comparação com a luz óptica. Um MEV moderno pode ampliar objetos em até um milhão de vezes seu tamanho original e pode resolver características menores que 1 nm em dimensão. Da mesma forma, a interação do feixe de elétrons com a amostra emite raios-X com energia única, que podem ser detectados através da técnica de EDS, determinando a composição elementar do material analisado. Os elétrons retroespalhados (BSE) são elétrons refletidos da amostra por espalhamento elástico. As imagens por BSE podem fornecer informações sobre a distribuição de diferentes elementos na amostra de acordo com seu número atômico. Já os canhões de emissão de campo no MEV (FEG) permitem uma resolução e ampliação mais altas, que é amplamente utilizado em nanotecnologia e campos biomédicos. E o feixe de íon focalizado (FIB) são capazes não somente de interagir com o material e gerar importantes fontes de informação sobre sua topografia e composição química, mas também de usiná-lo, sendo possível em muitos casos preparar e visualizar superfícies em um único equipamento.

Referência: A Beginners' Guide to Scanning Electron Microscopy, 2018