実験設備

・レーザ（He-Neレーザ、半導体レーザ)

・除振台

・RF・DCスパッタリング装置

・ドライエッチング装置

・スピンコーター

・電気炉

・マスクアライナー

・マスクレス露光装置

・ハロゲンランプ式アニール炉

・エリプソメーター

・SPM

・段差計