SMI4050(シングルビームFIB)
数センチ大の試料の微細加工やTEM用薄膜作製に用います。
基本仕様
ガリウムイオン銃(FIB加工)
タングステンデポ銃(タングステンコーティング)
カーボンデポ銃(炭素コーティング)
マイクロプロービングシステム(MPS:薄膜試料のピックアップ)
数センチ大の試料の微細加工やTEM用薄膜作製に用います。
基本仕様
ガリウムイオン銃(FIB加工)
タングステンデポ銃(タングステンコーティング)
カーボンデポ銃(炭素コーティング)
マイクロプロービングシステム(MPS:薄膜試料のピックアップ)