공정/증착장비

담당자 : 박미향(algid9390@naver.com)

                  김성현(tjdgus114587@naver.com)

Location : 21110

제조사 : Korea Vacuum Tech

증착 소스 : Au, Cr, Ag, Pt, Pd, Ni

최대 샘플 가능 사이즈 : 4-inch wafer

사용료: 1.2만원 / 30분 (금속직접구매)

담당자 :윤도경(a3p208@naver.com)

Location : 21110

제조사 : NCD

증착 소스 : Al2O3, HfO2, ZnO

최대 샘플 가능 사이즈 : 4-inch wafer

사용료: 0.8만원 / 30분

담당자 : 김병찬

E-mail: kbc2009123@gmail.com

Location : 21110

제조사 : Woosin CyroVac

organic, oxide, Ni, Al 제외 메탈 가능(Ti, Au, Pt, Pd, Cu 등)

Wafer size: 4 inch

Maximum vaccum: 1e-9 (이 이하는 유저 컨펌 필요)

사용료:1.4만원 / 30분 (금속직접구매) 

담당자 : 이서주 (aeonian865@gmail.com)

Location : 21110

제조사 : Woosin CyroVac

이용시 슈퍼유저와 협의 필요(유기물 불가)

Maximum Temperature: ~700°C

wafer size: 4 inch/gas: Ar, N2, O2

Maximum lamp up speed: 30도/s

Base vacuum: 1e-4

사용료: 0.6만원 / 30분

담당자 : 김유천 (ucnugkim123@gmail.com)

Location : 21110

제조사 : MIDAS

최소 선폭 2um / wafer size: 2 inch

사용료: 0.5만원 / 30 분 

담당자 : 안수정(손동희 교수님) (soojung2134@gmail.com)

Location : 23415

제조사 : MIDAS

담당자 : 김도영(원상민교수님) 

E-mail: doyoung.kim@g.skku.edu

Location : 23415

제조사 : 싸이엔텍

담당자 : 김도영(원상민 교수님)

E-mail: doyoung.kim@g.skku.edu

Location : 23415

제조사 : 싸이엔텍