게시일: 2016. 12. 21 오전 7:29:30
플라즈마를 활용한 원자층증착장비 (Plasma-enhanced Atomic Layer Deposition)가 NMDL에 입고되었습니다. (제작사 : iSAC research)
본 장비를 활용하여 산화물 박막, 2차원 나노소재 대면적 합성에 대한 연구를 수행하게 됩니다.
back