Nano Artifact-metrics based on Resist Collapsing
Post date: Jan 29, 2013 9:44:39 AM
情報セキュリティ研究会（ISEC）
2013年3月8日(金)@関西学院大学 大阪梅田キャンパス
11:45-12:10
「レジスト倒壊パターンを用いたナノ人工物メトリクス」
○松本 勉・花木健太・鈴木僚介・関口大樹（横浜国大）・
法元盛久・大八木康之（大日本印刷）・成瀬 誠（NICT）・竪 直也・大津元一（東大）
Technical Committee on Information Security (ISEC)
Friday 8 March, 2013 at Kwansei Gakuin University
11:45-12:10
"Nano Artifact-metrics based on Resist Collapsing"
Tsutomu Matsumoto, Kenta Hanaki, Ryosuke Suzuki, Daiki Sekiguchi (YNU), Morihisa Hoga, Yasuyuki Ohyagi (DNP), Makoto Naruse (NICT), Naoya Tate, Motoichi Ohtsu (Univ. Tokyo)