技術服務項目:

• 準分子雷射系統保養及維修服務

• 準分子雷射系統重整翻新改造

• 準分子雷射系統系統移機

• 準分子雷射系統設備零件耗材銷售

• 客製零組件開發專案

準分子雷射維修型號波長:

248nm, 308nm

2017通過ISO 9001 高壓電源供應器維修認証

HVPS Repair ISO9001:2015/CNS 12681

Registration Number: 17QMA31224

• 準分子雷射零組件維修品項:

• Excimer Laser Discharge Chambers (LDU)

• Output Coupler Lens (OC Lens)

• Laser beam shutter and PCB

• Laser beam dump

• High Voltage Power Supply Repair (TDK Lambda LC1202L)

• Gas module

• Blower motor controller

• Cryopump / Gas Purify Unit (GP)

• Hand-held Terminal (HHT) / Keba KeTop C50

其他各式組件:

• Ultra 10 workstation

• Optics, Lens A / B / C

• ASML, NIKON, CANON parts improvement