แบบจำลองอะตอมของดอลตัน กล่าวว่า อะตอมมีลักษณะเป็นทรงกลมตันและภายในอะตอมไม่มีประจุไฟฟ้า

แบบจำลองอะตอมของทอมสัน กล่าวว่า อะตอมประกอบด้วยเนื้ออะตอมที่มีประจุบวกเรียกว่าโปรตอน และมีประจุลบ เรียกว่าอิเล็กตรอนซึ่งมีจำนวนเท่ากับโปรตอน กระจายอยู่ทั่วไป

แบบจำลองอะตอมของรัทเทอร์ฟอร์ด กล่าวว่า อะตอมประกอบด้วยนิวเคลียสที่มีขนาดเล็กมาก อยู่ตรงกลาง ในนิวเคลียสมีโปรตอน รอบนิวเคลียสเป็นที่ว่าง และมีอิเล็กตรอนเท่ากับจำนวนประจุบวกเคลื่อนที่อยู่

แบบจำลองอะตอมของโบร์ กล่าวว่า อิเล็กตรอนเคลื่อนที่เป็นวงโคจรรอบนิวเคลียส คล้ายวงโคจรของดาวเคราะห์รอบดวงอาทิตย์

แบบจำลองอะตอมแบบกลุ่มหมอก กล่าวว่า อิเล็กตรอนเคลื่อนที่คล้ายกลุ่มหมอกที่ห่อหุ้มนิวเคลียส

ภายในอะตอมประกอบด้วยอนุภาคสำคัญ 3 ชนิด คือ โปรตอน นิวตรอน และอิเล็กตรอน เรียกว่า อนุภาคมูลฐานของอะตอม โดยโปรตอนและนิวตรอนอยู่ในนิวเคลียส ส่วนอิเล็กตรอนเคลื่อนที่อยู่รอบนิวเคลียสในลักษณะกลุ่มหมอก