研究方向

半導體/製程設備熱流分析

• 化學氣相沉積 (CVD)

• 原子層沈積 (ALD)

• 晶圓清洗

• 沈積與蝕刻過程

• 加熱與乾燥設備

• 機器學習/深度學習 溫控

• 機房/潔淨室氣流控制

能源與動力系統: 

• ORC、TFC、PEC等廢熱回收循環

• 渦輪機組設計與開發

  • 渦輪發動機組

  • 單相/雙相膨脹機組

  • 單相/雙相噴嘴

  • Spray Coating / Dip Coating

  • 3D printing