ALSテクノロジー社製の小型真空蒸着装置（E-70）です．有機発光ダイオード（Organic light-emitting diodes (OLEDs)）や有機電界効果トランジスタ（Organic field-effect transistors (OFETs)），有機太陽電池（Organic photovoltaics (OPVs)）等の各種有機半導体デバイスを作製することができます．蒸着中の基板加熱も可能です．市販品なのでマスクの交換が楽で使いやすいですね．ちなみに通称は彩（IRODORI）．いろんなデバイスが作れるということで名付けました．
KIYON社製のグローブボックス（KK-1841）です．彩と同時に導入されました．中は高純窒素ガスで満たされており，酸素値と水分値はどちらも1 ppm以下を維持しています．ロードロックを介して彩とつながっているので，作製した素子は大気暴露することなくグローブボックスに移動することができます．グローブボックス内では封止作業や各種電気測定を行うことができます．振動試験装置が中に入っているのはなかなか珍しいのではないでしょうか？
表面電位測定システムです．表面電位測定にはKP Technology社製のケルビンプローブ（UHV-KP020）を使用します．その他は様々な真空部品を組み合わせて作りました．表面電位測定槽に加えて蒸着槽も設けられており，真空一環でサンプル作製と評価を行うことができます．またグローブボックスと接続しているので，窒素環境中での測定も可能であり，また彩で作製したサンプルも大気暴露なしで評価することもできます．
ちなみにこのシステムは群馬大一期生の学生さんたちと立ち上げました．実験結果を得るまでに時間はかかりましたが，真空部品の取り扱い方を学べたのはいい経験になったのではないかと思っています．
有機半導体デバイスの電気特性を調べるための装置です．下のいろいろな電子機器を組み合わせて電流・電圧特性の評価や変位電流測定を行っています．
任意波形発生器： WF1984 (NF)，WF1974 (NF)，waveStation2012 (LeCroy)，電流／電圧アンプ： CA5350 (NF)，SR570 (SRS)， オシロスコープ： MDO34 (Tektronix)，DPO2014B (Tetronix)，ソースメジャーユニット： Model 2614B (Keithley)，Model 6430 (Keithley)，振動試験装置： 9514-AN/SD & 373-A (Emic)，512-A & 371-A (Emic)，半導体パラメータアナライザ： B1500A (Agilent Technologies)，電流波形アナライザ： CX3342A (Keysight)，ロックインアンプ： LI5650 (NF)，パワーアンプ： HSA42051 (NF)，周波数可変フィルタ： 3628 (NF)，加速度計： 731-B & 6001-AHD (Emic)，ファイバマルチチャンネル分光器： Flame-S (Oscian Optics)，Xe光源： MAX-350 (Asahi Spectra)，輝度計（BM-9AC, Topcon），フォトマル（H10721-01, Hamamatsu），等々．