高階諧波 (high harmonic generation,簡稱 HHG) 的產生是由於原子在強場雷射中被游離,所產生的電子被電場加速後返回原子,從雷射中所獲得的額外能量加上返還的游離能以高階諧波的方式釋出,其階數可達到基頻光的數十階甚至上百階,產生出來的高階諧波頻率可以從極紫外光延伸至軟X光。