다기능성 소재 제조용 스퍼터링 시스템
(RF&DC Magnetron Sputtering System)
(RF&DC Magnetron Sputtering System)
장비명 (equipment name): 다기능성 소재 제조용 스퍼터링 시스템(RF&DC Magnetron Sputtering System)
모델명 (model name): KVS-4004L
설치장소 (emplacement) : 바이오나노대학 105-2호 (Bionano College, Room 105-2)
자산번호 (asset number) : 2022000204001