研　究

当研究室では、ZnO、GaN等ワイドバンドギャップ半導体を　使用したパワーデバイス・センサ開発を行っています。

現在公開中の研究成果は、岩手県工業技術センター勤務時に得られた成果です。

１．パワーデバイス　順次更新します。

２．センサ

論文

• Fabrication and characterization of a Pt/MgxZn1−xO/ZnO Schottky barrier photodiode utilizing a field plate structure
  Haruyuki Endo, Kyo Takahashi, Yasube Kashiwaba
  Jpn. J. Appl. Phys 57(04FG08) 2018年2月  査読有り

• Characteristics of ZnO Schottky photodiode and effects of high-energy proton irradiation
  S. Narita, H. Endo, T. Chiba, Y. Sakemi, M. Itoh, H. Yoshida
  Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science 211(3) 570-573 2014年3月  査読有り

• Applicability of nitrogen-doped ZnO single crystals for photoconductive type UV sensors
  Shuzo Takahashi, Takami Abe, Akira Nakagawa, Syuhei Kamata, Tetsuya Chiba, Michiko Nakagawa, Yasuhiro Kashiwaba, Shigeki Chiba, Haruyuki Endo, Kazuyuki Meguro …
  PHYSICA STATUS SOLIDI C: CURRENT TOPICS IN SOLID STATE PHYSICS, VOL 11, NO 7-8 11(7-8) 1304-1307 2014年  査読有り

• Fabrication and characterization of a ZnO X-ray sensor using a high-resistivity ZnO single crystal grown by the hydrothermal method
  Haruyuki Endo, Tetsuya Chiba, Kazuyuki Meguro, Kyo Takahashi, Mitsuru Fujisawa, Shigeaki Sugimura, Shinya Narita, Yasube Kashiwaba, Eiichi Sato
  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT 665 15-18 2012年2月  査読有り

• 15 Mcps photon-counting X-ray computed tomography system using a ZnO-MPPC detector and its application to gadolinium imaging
  Eiichi Sato, Shigeaki Sugimura, Haruyuki Endo, Yasuyuki Oda, Abulajiang Abudurexiti, Osahiko Hagiwara, Akihiro Osawa, Hiroshi Matsukiyo, Toshiyuki Enomoto, Manabu Watanabe …
  APPLIED RADIATION AND ISOTOPES 70(1) 336-340 2012年1月  査読有り

• Epitaxial growth of high-quality MgxZn1-xO films by a plasma-assisted reactive evaporation method using ZnMg alloys as a source material
  T. Abe, A. Nakagawa, M. Tanaka, M. Nakagawa, H. Endo, K. Meguro, Y. Kashiwaba, S. Chiba, T. Ojima, K. Aota …
  PHYSICA STATUS SOLIDI C: CURRENT TOPICS IN SOLID STATE PHYSICS, VOL 9, NO 8-9 9(8-9) 1813-1816 2012年  査読有り

• 6 Mcps photon-counting X-ray computed tomography system using a 25 mm/s-scan linear LSO-MPPC detector and its application to gadolinium imaging
  Eiichi Sato, Yasuyuki Oda, Abulajiang Abudurexiti, Osahiko Hagiwara, Hiroshi Matsukiyo, Akihiro Osawa, Toshiyuki Enomoto, Manabu Watanabe, Shinya Kusachi, Shigeaki Sugimura …
  RADIATION PHYSICS AND CHEMISTRY 80(12) 1327-1332 2011年12月  査読有り

• Optical properties of three sectors in a zinc-oxide single crystal grown under hydrothermal process
  Shigeaki Sugimura, Haruyuki Endo, Yasube Kashiwaba, Eiichi Sato
  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT 654(1) 314-317 2011年10月  査読有り

• Mcps-range photon-counting X-ray computed tomography system utilizing an oscillating linear-YAP(Ce) photon detector
  Yasuyuki Oda, Eiichi Sato, Abulajiang Abudurexiti, Osahiko Hagiwara, Akihiro Osawa, Hiroshi Matsukiyo, Toshiyuki Enomoto, Manabu Watanabe, Shinya Kusachi, Shigeaki Sugimura …
  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT 643(1) 69-74 2011年7月  査読有り

• Mcps-range photon-counting X-ray computed tomography system
  Eiichi Sato, Yasuyuki Oda, Abulajiang Abudurexiti, Osahiko Hagiwara, Toshiyuki Enomoto, Shigeaki Sugimura, Haruyuki Endo, Shigehiro Sato, Akira Ogawa, Jun Onagawa
  MEDICAL APPLICATIONS OF RADIATION DETECTORS 8143 81430K-1--5 2011年  査読有り

• Homoepitaxial growth of high-quality nonpolar ZnO films by MOCVD and evaluation of the homoepitaxial ZnO films by XRD measurement for asymmetric planes
  Yasuhiro Kashiwaba, Takami Abe, Akira Nakagawa, Haruyuki Endo, Ikuo Niikura, Yasube Kashiwaba
  PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLICATIONS AND MATERIALS SCIENCE 206(5) 944-947 2009年5月  査読有り

• Structure and optical properties of non-doped and N-doped ZnO films with non-polar surfaces grown homoepitaxially on single crystal ZnO (11(2)over-bar0) substrates
  Takami Abe, A. Nakagawa, S. Chiba, Y. Kashiwaba, H. Endo, K. Meguro, T. Ojima, K. Aota, M. Daibo, H. Osada …
  PHYSICA STATUS SOLIDI C: CURRENT TOPICS IN SOLID STATE PHYSICS, VOL 6, SUPPL 1 6 S94-S97 2009年  査読有り

• Characteristics of high-quality homoepitaxial ZnO (0001) films grown by the plasma-assisted reactive evaporation method
  A. Nakagawa, T. Abe, S. Chiba, H. Endo, K. Meguro, Y. Kashiwaba, T. Ojima, K. Aota, I. Niikura, Y. Kashiwaba …
  PHYSICA STATUS SOLIDI C: CURRENT TOPICS IN SOLID STATE PHYSICS, VOL 6, SUPPL 1 6 S119-S122 2009年  査読有り

• High-sensitivity mid-ultraviolet Pt/Mg0.59Zn0.41O schottky photodiode on a ZnO single crystal substrate
  Haruyuki Endo, Michiko Kikuchi, Masahumi Ashioi, Yasuhiro Kashiwaba, Kazuhiro Hane, Yasube Kashiwaba
  APPLIED PHYSICS EXPRESS 1(5) 2008年5月  査読有り

• Fabrication and characteristics of a Pt/MgxZn1-xO Schottky photodiode on a ZnO single crystal
  H. Endo, M. Sugibuchi, K. Takahashi, S. Goto, K. Hane, Y. Kashiwaba
  PHYSICA STATUS SOLIDI C - CURRENT TOPICS IN SOLID STATE PHYSICS, VOL 5, NO 9 5(9) 3119-+ 2008年  査読有り

• Photoluminescence properties of nitrogen-doped ZnO films deposited on ZnO single crystal substrates by the plasma-assisted reactive evaporation method
  A. Nakagawa, F. Masuoka, S. Chiba, H. Endo, K. Megro, Y. Kashiwaba, T. Ojima, K. Aota, I. Niikura, Y. Kashiwaba
  APPLIED SURFACE SCIENCE 254(1) 164-166 2007年10月  査読有り

• Schottky ultraviolet photodiode using a ZnO hydrothermally grown single crystal substrate
  Haruyuki Endo, Mayo Sugibuchi, Kousuke Takahashi, Shunsuke Goto, Shigeaki Sugimura, Kazuhiro Hane, Yasube Kashiwaba
  APPLIED PHYSICS LETTERS 90(12) 2007年3月  査読有り

• Comparison of non-polar ZnO (1 1 (2)over-bar-0) films deposited on single crystal ZnO (1 1 (2)over-bar-0) and sapphire (0 1 (1)over-bar-2) substrates
  Y. Kashiwaba, T. Abe, S. Onodera, F. Masuoka, A. Nakagawa, H. Endo, I. Niikura, Y. Kashiwaba
  JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH 298 477-480 2007年1月  査読有り

• Homoepitaxial growth of non-polar ZnO (11(2)over-bar-0) films on off-angle ZnO substrates by MOCVD
  T. Abe, Y. Kashiwaba, S. Onodera, F. Masuoka, A. Nakagawa, H. Endo, I. Niikura, Y. Kashiwaba
  JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH 298 457-460 2007年1月  査読有り

• Fabrication and Characterization of Schottky Barrier Diode Type Ultraviolet Sensor using ZnO Single Crysta
  H. Endo, M. Sugibuchi, K. Takahashi, S. Goto, T. Hasegawa, E. Ohshima, K. Meguro, K. Hane, Y. Kashiwaba
  IEEJ Trans. SM 127(3) 131-135 2007年  査読有り

• Applicability of ZnO single crystals for ultraviolet sensors
  F. Masuoka, K. Ooba, H. Sasaki, H. Endo, S. Chiba, K. Maeda, H. Yoneyama, I. Niikura, Y. Kashiwaba
  Physica Status Solidi C: Conferences 3(4) 1238-1241 2006年  

• Photoluminescence properties of ZnO single crystals with polar and non-polar faces
  H. Sasaki, H. Kato, F. Izumida, H. Endo, K. Maeda, M. Ikeda, Y. Kashiwaba, I. Niikura
  Physica Status Solidi C: Conferences 3(4) 1034-1037 2006年  

• Photolumineseence properties of ZnO single crystals with polar and non-polar faces
  H Sasaki, H Kato, F Izumida, H Endo, K Maeda, M Ikeda, Y Kashiwaba, Niikura, I, Y Kashiwaba
  PHYSICA STATUS SOLIDI C - CURRENT TOPICS IN SOLID STATE PHYSICS, VOL 3, NO 4 3(4) 1034-+ 2006年  査読有り

• si酸化膜上のスパッタsi薄膜とその応用
  東北学院大学工学部研究報告  

講演・口頭発表等

• (-201) β-Ga2O3基板上に成膜した MgxZn1-xO薄膜の特性評価
  遠藤治之, 柏葉安兵衛
  2024年 応用物理学会東北支部第79回学術講演会 2024年12月6日

• 表面実装パッケージ型ZnO圧力センサの圧力応答性評価
  遠藤治之, 二瓶貴之, 目黒和幸, 小田英樹, 柏葉安兵衛
  2024年 第85回応用物理学会秋季学術講演会 2024年9月20日

• 放射光X 線を光源とした斜入射X 線トポグラフィ法によるPt/ZnO ショットキーダイオードの結晶欠陥評価
  遠藤治之, 柏葉安兵衛
  2023年 応用物理学会東北支部第78回学術講演会 2023年12月7日

• MgとZnターゲットを使用した反応性同時スパッタリングによるMg0.57Zn0.43O薄膜の成膜と圧電素子の作製
  遠藤治之, 二瓶貴之, 目黒和幸, 柏葉安兵衛
  2023年 第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月20日

• 高抵抗ZnO基板における吸収端の電界依存性
  遠藤治之, 柏葉安兵衛
  2022年 第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月21日

• A bulk ZnO piezoelectric pressure sensor with an Mg0.5Zn0.5O thin film deposited by the reactive cosputtering method
  Haruyuki Endo, Takayuki Nihei, Kazunori Suzuki, Akira Barajima, Yasube Kashiwaba
  2021 International conference on Solid State Devices and Material 2021年9月

• Mg0.6Zn0.4O/ZnO圧力センサの共振・反共振法による圧電特性評価
  遠藤治之, 二瓶貴之, 鈴木一考, 茨島明, 柏葉安兵衛
  2021年 第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月

• MgxZn1-xO/n-ZnO構造の光学特性評価
  遠藤治之, 目黒和幸, 阿部貴志, 高橋強, 柏葉安兵衛
  2020年 第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月12日

• Pt/MgxZn1-xO/n-ZnOショットキーフォトダイオードにおける直列抵抗の評価
  遠藤治之, 高橋強, 柏葉安兵衛
  2019年 第66回応用物理学会春季学術講演会 2019年3月10日

• Fabrication of a Pt/MgZnO/ZnO Schottky barrier photodiode utilizing a field plate structure
  2017 International conference on Solid State Devices and Material 2017年9月21日

• Pt/MgxZn1-xO/n-ZnOショットキーフォトダイオードにおける電流感度の逆バイアス電圧依存性
  遠藤治之, 高橋強, 柏葉安兵衛
  2017年 第64回応用物理学会春季学術講演会 2017年3月17日

• Pt/MgxZn1-xO/n+-ZnOショットキーフォトダイオードにおける電流感度の改善
  遠藤治之, 高橋強, 柏葉安兵衛
  2016年 第63回応用物理学会春季学術講演会 2016年3月20日

• Pt/MgxZn1-xOショットキーフォトダイオードの分光感度特性
  遠藤治之, 佐藤秀幸, Mohamed Belmoubarik, 高橋強, 野崎友大, 佐橋政司, 柏葉安兵衛
  2015年 第68回応用物理学会春季学術講演会 2015年3月12日

• Pt/ZnOショットキーフォトダイオードにおける 逆バイアス特性の改善
  遠藤 治之
  2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会 2014年3月

• Breakdown Characteristics in a Pt/ZnO Schottky Photodiode
  遠藤 治之
  2013 JSAP-MRS Joint Symposia 2013年9月

• Pt/ZnOショットキーフォトダイオードの I –V 特性
  遠藤 治之
  2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会 2013年3月

• RS-MBE法によるZnO薄膜の成膜とPt/ZnOショットキーフォトダイオードの作製
  遠藤 治之
  2012年 秋季 第73回応用物理学会学術講演会 2012年9月

• UV-A･B 弁別検出用ZnO-UV センサ
  遠藤 治之
  第45 回日本生体医工学会 東北支部大会 2011年10月29日

• Pt/MgXZn1-XOショットキーフォトダイオードの 分光感度特性の改善
  遠藤 治之
  2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会 2011年9月

• 水熱育成法によって成長したZnO単結晶を用いたZnO放射線センサ
  遠藤 治之
  2010年9月  招待有り

• Pt/ZnOショットキーダイオード放射線検出器
  遠藤 治之
  2009年（平成21年）第56回応用物理学関係連合講演会 2009年3月

• ZnO単結晶を用いたPt/MgXZn1-XO ショットキーダイオード紫外線検出器
  遠藤 治之
  2007年（平成19年）応用物理学術講演会第54回大会 2007年3月

• Photoresponsivity of a Schottky ultraviolet photodiode using a ZnO hydrothermally grown single crystal
  The 14th International Workshop on Oxide Electronics 2007年

• Photoresponse of a Pt/MgxZn1-xO Schottky Photodiode on a ZnO Single Crystal
  The 34th International Symposium on Compound Semiconductors 2007年

• Photoresponsivity of a Schottky ultraviolet photodiode using a ZnO hydrothermally grown single crystal
  The 14th International Workshop on Oxide Electronics 2007年

• Photoresponse of a Pt/MgxZn1-xO Schottky Photodiode on a ZnO Single Crystal
  The 34th International Symposium on Compound Semiconductors 2007年

• ZnO単結晶を用いたショットキーダイオード型紫外線センサ
  遠藤 治之
  第23回「センサ・マイクロマシンと応用システム」 シンポジウム 2006年9月

• Ptショットキーダイオード ZnO単結晶紫外線センサ
  遠藤 治之
  2006年（平成18年）応用物理学術講演会第67回大会 2006年9月

• ZnO単結晶を用いた光デバイス
  遠藤 治之
  レーザー学会学術講演会第26回年次大会 2006年  招待有り