Резюме: Сканиращата електронна микроскопия е един от най-широко използваните методи за повърхнинна диагностика. Наред със стандартното използване на детектор на вторични електрони (SE) за визуализация, допълването на инструмента с различни детектори позволява използването на многобройни методи (EDX, WDX, EBSD, EBIC, CL и др.) за 2D характеризиране на обекта на микрониво. Докато SEM и свързаните с него методи са основно характеризиращи, то използването на йони вместо електрони, дава наред с това и принципно нови възможности за модификация на обекта - локално разпрашване и/или депозиране на материал на микрониво. Съчетаването на два лъча - електронен и йонен, с независимо сканиране в един прибор позволява едновременно обработка и характеризиране на обекта. Възможността за работа при ниско налягане разширява още повече диапазона на изследваните обекти - биологични обекти, диелектрични обекти и др.
12.2008-01.2012
Стоян Русев
2021-2024
Теодор Миленов
2017-2020
Теодор Миленов