半導体電気化学プロセスGr.

半導体電気化学プロセスグループでは、半導体表面でおきる電気化学反応を利用した「半導体微細加工法」と「半導体表面評価法」の開発に取り組んでいます。

半導体表面・界面の基礎物性を明らかにし、リソグラフィや電極形成などのデバイスプロセス技術を駆使して、高速電子デバイスやパワーデバイス、高効率エネルギー変換素子へ応用することを目指しています。