研究内容

研究テーマ

完璧に欠陥のない結晶というのはほぼ存在しません．ダイヤモンドも多くの欠陥を含んでいて，そのせいで半導体特性が悪化します．特に半導体と絶縁体との界面での物理現象が重要です．

界面で何が起こっているか？電気的に悪化してしまう原因となる欠陥とはどういうものか？どうやったら減らせるか？を課題として，研究しています．

共同研究：奈良先端科学技術大学院大学

欠陥のない，高品質な多結晶ダイヤモンドを作ることを目的としています．１の研究テーマとリンクして進めてます．

欠陥が少なくなれば，ダイヤモンドを使った電子素子の特性も良くなります．

実験をしなくても，ある程度の実験結果をパソコン上で予測できるシステム構築を目指しています．コロナ渦で実験ができなかった時期に，こういうものがあったらいいなと思って始めました．

ダイヤモンドを使って，トランジスタなど電子素子のより良い特性を出すことを目的に研究しています．

共同研究：奈良先端科学技術大学院大学

エレクトロニクスマテリアル共同実験室

ダイヤモンドCVD

酸化物スパッタ（メンテ中）

ドラフト

ユーティリティ（超純水製造装置、窒素ガス発生装置、水素ガス発生装置、チラー）

他研究室保有共同利用装置：ＦＴ－ＩＲ、ＵＶ－Ｖｉｓ、光学顕微鏡、蒸着装置、スパッタコーター

先進デバイス材料工学実験室

イオンビームスパッタ、グリーンレーザー、ドラフト、スクリーンプリント装置

プローバー

共同利用センター

近畿大学共同利用センターに設置されている分析装置（SEM、XRD、XPS、ラマン分光など）を使用します。