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GaN LED Lift Off
系統維修
Lambda Physik
雷射系統維修
Lambda Physik
雷射腔體整新
Lambda Physik
Lambda Steel
銓宸科技有限公司 提供服務於準分子雷射系統維修, 整新, 移機服務及客戶需求之準分子雷射技術服務. 主要品牌有COHERENT(LAMBDA PHYSIK/科西倫/相干), 在台灣本地建立無塵室研發實驗室及維修廠. 備有準分子雷射系統零件安全庫存備料. 可整新波長有193nm, 248nm, 308nm等常用準分子雷射.
在市埸需求下, 研發團隊率先開發客戶所需之零組件, 經我司多年研發經驗於各式金屬與陶瓷材料, 加工技術, 覆合材料及雷射光學等級鏡片等, 整合技術, 及導入最新技術應用於準分子雷射系統, 以供市場雷射維護之需求
雷射產品維修技術開發, 在台灣在地化成功開發產品, 達成客戶所需之高技術含量產品與服務, 於產品開發成熟同時也進入海外國際市場, 包含有日本,韓國,中國,新加坡等, 在地服務據點, 提供即時應對服務.
Beam Shutter
TDK Lambda LC1202L
COHERENT KEBA HHT 控製器維修
雷射維護測試
技術服務項目:
準分子雷射系統保養及維修服務
準分子雷射系統雷射管重整翻新改造
準分子雷射系統系統移機
準分子雷射系統設備零件耗材銷售
客製零組件開發專案
準分子雷射維修型號波長:
193nm, 248nm, 308nm
2017通過ISO 9001 高壓電源供應器維修認証
HVPS Repair ISO9001:2015/CNS 12681
Registration Number: 17QMA31224
準分子雷射零組件維修品項:
Excimer Laser Discharge Chambers (LDU)
Output Coupler Lens (HR/OC Lens)
Laser beam shutter and PCB
Laser beam dump
Communication Box
High Voltage Power Supply Repair (TDK Lambda ALE EMI LC1202L / XR402 / 802S)
Gas manifold module
Circulation Fan motor controller
Cryopump / Gas Purify Unit (GP CRYO)
Hand-Held Terminal (HHT) / Keba KeTop C50
其他各式組件:
Laser Control Workstation
Optics, Lens
New Hydrogen Thyratrons L189, L4189, LP4189A, LP4189B for sale
Lambda Physik / COHERENT parts improvement
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