樣品規格
樣品規格區分為DC量測與RF量測兩大類。
2. 標準規格晶片
晶片尺寸為7mm X 7mm,正面固定有符合尺寸與位置的pad。如下圖黃色區域所示,尺寸單位為um。此樣品不需要打線即可量測。
相關位置與尺寸提供空白CAD參考。
AutoCAD檔案(單位um):
https://drive.google.com/open?id=1XJs7UixG9QSwHABZSOKYL-xmoUU5ilye
3. 任意規格晶片
提供12mm X 12mm之陶瓷轉接板打線使用。一片可打24個電極,其中1號腳位可做為晶片之back gate使用。樣品晶片尺寸大小不超過6mm X 6mm為原則。下圖為轉接板示意圖,單位um。
RF量測裝置
RF量測裝置
RF量測使用之量測方式。
RF量測說明
RF量測說明
RF量測使用之量測樣品規格及樣品架,請洽詢儀器管理員。