Micro/Nano Semiconductor LAB

ABOUT MNSL

We focus on the design, fabrication, and application of intelligent MEMS/NEMS-based sensors and devices for acquiring electrical signals from physical, chemical, and biological phenomena. Our research spans:

• MEMS/NEMS device design and micro/nano fabrication

• Nanomaterials-based sensor integration

• Semiconductor process technology

• Smart sensing systems and applications in environment, healthcare, and IoT

Aimed at solving real-world challenges, our multidisciplinary approach connects electrical engineering, materials science, chemistry, and physics to develop innovative sensor systems for next-generation technologies.

마이크로/나노 반도체 연구실에 오신 것을 환영합니다.

본 연구실의 주요 연구 목표는 물리,화학, 생체 신호 등으로부터 전기적 신호로 변환하는 지능형 MEMS/NEMS 센서 및 소자를 설계, 공정, 응용하는 것입니다. 

주요 연구 분야는 다음과 같습니다.

• MEMS/NEMS 소자의 설계 및 공정 기술

• 나노소재 기반 센서 기술 및 집적 연구

• 반도체 공정 기술 개발

• 차세대 전자기기를 위한 지능형 센서 시스템

재료, 소자, 시스템을 아우르는 다양한 융합적 연구를 통해, 차세대 기술 선도할 고성능 시스템을 개발하고자 합니다.