48103室
原子層沉積系統[負責老師:李欣縈老師]
氧電漿蝕刻系統 [負責老師:李欣縈老師]
高真空濺鍍系統[負責老師:許進恭老師]
手套箱[負責老師:郭宗枋老師]
高真空熱蒸鍍系統[負責老師:陳昭宇老師]
高溫爐管[負責老師:陳昭宇老師]
48107室
光罩對準儀[負責老師:賴韋志老師]
熱風循環烘箱[負責老師:賴韋志老師]
48201A室
分光光譜儀[負責老師:郭宗枋老師]
色散型共聚焦拉曼光譜儀[負責老師:郭宗枋老師]
場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)[負責老師:林俊宏老師]
顯微拉曼光譜儀[負責老師:周維揚老師]
螢光光譜儀[負責老師:郭宗枋老師]