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1.1 반도체 공정용 기화기 내 Atomizer 유동 및 분무 특성 연구
1. 반도체 공정용 Atomizer의 유동 해석
Fig1. Atomizer 모델링 Fig2. Atomizer 내부 유동 해석 결과
2. Atomizer의 분무 특성 연구
Fig3. Atomizer 설계변수에 따른 유동 및 분무 해석 결과 Fig4. 분무 유량에 따른 액적 분포 비교
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