材料プロセス研究室

プラズマ源の開発

本研究室で開発したプラズマ源の放電実験写真です。薄膜作製中に同時に高真空中でプラズマを照射すると、化学反応を高めて酸化物などの化合物薄膜形成に役立ちます。

機能性薄膜の創成

今や透明導電膜はスマフォなどのタッチパネルには欠かせない材料です。本研究室では他にも光センサーへの応用など、プラズマを積極的に利用して機能性材料を探索する研究を行っています。

指導教員

一戸 隆久 ( 電子工学科 )

Leader, Laboratory of Ion-Technology (Lion-Tech)


プロフィール

　真空装置内で発生させたプラズマやイオンを利用した機能性薄膜(ナノ微粒子含有薄膜、酸化物や窒化物薄膜など)の作製と評価に関する研究に従事。研究室では主にスパッタリング装置とプラズマ支援電子ビーム蒸着装置を用いて成膜を行っている。最近では簡単なプラズマ源を自作・改良し、機能性薄膜を探索している。機能性薄膜として発光材料、多層膜ミラー、光センサ材料、透明導電酸化物薄膜などを手掛けてきた。

学位：博士 (工学)

所属学会：応用物理学会、日本表面真空学会、American Vacuum Society、日本MRS、日本工学教育協会、日本物理教育学会

趣味：ビッグバンド演奏 (バリトンサックス 永遠の初心者)

研究業績

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