* การทำงาน ESD มี 3 Mode แต่ที่ใช่ตอนนี้ ใช้ Mode CDM
* ESD test จะใช้ 2 Probe ในการ test
- Test Probe ตัวใน ใช้อ่านค่า
- Stress Probe ตัวนอก มี 2 pin ใช้จ่ายกระแส ตามเงื่อนไขของ mode ที่ใช้งาน
Disable Head ID 1-10 : เพราะที่ตำแหน่ง Stress Probe bar ,ยื่นออกสุดย่าน move ออกได้แค่นั้น
เริ่ม : ตั้งแต่เปิดโปรแกรม
เลือก setup
เลือก EPS - 100
จะมี ERROR ขึ้นมา 3 ข้อความ Abort ไปก่อน
Align Test Probe
ต้องเลือก ที่ Test probe ถูกด้วย
การ align ทำเช่นเดียวกันกับปกติ แต่ต้องทำที่ head 11-68 แล้วแต่เลือกตัวไหนชัด
การ Save ตำแหน่ง Y ให้ เลือกตัวที่ 11
ESD Stress Probe
กล้องในการ align ใช้ตัวเดียวกัน ให้ขยับตำแหน่งกล้องออกมา เพื่อให้เห็น Pin Stress Probe
- Cal Probes Height
เลือก Stress - >
ปรับ ตำแหน่ง แกน Y -> ให้ตรงกลาง pad
กด Find Point ดูในกล้องจน pin แตะ pad (จะไม่มีค่าความต้านทานขึ้น เพราะ Stress probe มีหน้าที่เพียงจ่ายกระแส)
# Stress probe มี 2 pin ให้ align pin ที่อยู่ใกล้ตัวเรา แตะที่ขา R- ( CDM mode)
- Cal Y Location
ไปที่ตำแหน่งท้าย Bar นับ จากงานตัว ที่ 68 ย้อนกลับมาจะง่ายกว่า โดยโปรแกรม สามารถ ให้ save ได้
ตัวที่ 11 - 67
Password : seagatenrm
: