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Semiconductor Measurement Lab., Nano and Science Lab.
  

實驗室主持人

吳幼麟 教授

國立暨南國際大學電機系 

Professor You-Lin Wu 

Department of Electrical Engineering, NCNU.  

 

主要研究方向

 (1) 新型積體電路製程, (2) 氧化層可靠度研究, (3) 生物晶片, (4)有機薄膜電晶體 (5) 奈米元件製程技術 
  
 本實驗室目前主要研究方向為利用原子力顯微鏡(Conductive Atomic Force Microscopy)針對高介電質材料之可靠度研究, 利用AFM之導電探針在奈米尺度下對高介電質氧化材料施加應力,研究高介電質材料於奈米尺度應力下之崩潰特性. 
  
 本實驗室近年來也極力發展奈米級生物晶片, 利用多晶矽線(Polysilicon wire)發展半導體生物晶片.此外, 也利用原子力顯微鏡成功的觀察癌症細胞與基材交互作用之現象(Cell-Substrate interaction)
                                
半導體量測實驗室分機: 4854    奈米與科學實驗室分機: 4702
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