Prístroje‎ > ‎

Optický profilometer/konfokálny mikroskop

Funkcia:

 

Zariadenie je unikátnym duálnym systémom na presné meranie povrchovej tyopografie zariadením dvoma rôznymi optickými metódami – konfokálnou mikroskopiou a optickou interfrometriou v režimoch fázového posuvu (phase shift interference - PSI) a vertikálneho rastrovania (vertical scanning interferometry - VSI). V súčasnej dobe existujú na svete len dvaja výrobcovia podobného duálneho systému – Sensofar a Leica, ktorá však využíva patent od Sensofaru

Technická špecifikácia:

  • duálne osvetlenie s bielym aj krátkovlnovým monochromatickým svetlom
  • automatické prepínanie medzi konfokálnym a interferometrickým módom len výmenou objektívu a prepnutím softwaru
  • vertikálne rozlíšenie v režime PSI  <0,02 nm
  • odchýlka od linearity pri vertikálnom skenovaní v rozsahu do 50 um < 60 nm
  • vertikálne rozlíšenie v režime VSI <1.5 nm
  • rýchlosť snimania v konfokálnom režime> 10 frame/s
  • interferometrické objektívy so zväčšením v rozsahu od 2,5x do 100x
  • konfokálne objektívy so zväčšením v rozsahu od 5x do 150x
  • optické pozorovanie povrchu v svetlom poli v reálnych farbách
  • motorizovaný a piezo-posun v osi Z a motorizovaný XY stolík
  • manuálny priečny a pozdĺžny náklon stolíka
  • software na automatické mapovanie a skladanie obrazov zo zadaných plôch a na vyhodnocovanie topografických parametrov povrchu

Model: 

PLu Neox 3D Sensofar

Umiestnenie prístroja:

ÚMV SAV Košice

Zodpovedný pracovník:

 

Operátori:  

 

Comments