Prístroje‎ > ‎

Elektrónový mikroskop

Funkcia:

 

  • Prístroj na detailnú chemickú a mikroštruktúrnu analýzu keramických kompozitov, identifikáciu distribúcie sekundárnych fáz v kompozitoch, identifikáciu a charakterizáciu korodovaných povrchov a koróznych produktov skla a keramických materálov, analýzu nehomogenít v skle,charakterizáciu produktov kryštalizácie pri štúdiu mechanizmov kryštalizácie skiel. 
  • Pri meraní dosahuje rozlíšenie pri urýchľovacom napätí 15kV min. 1-2nm, pri 1kV min.2-4nm. Zároveň je vybavený analytickými modulmi 1xWDS detektorom, 1xSDD detektorom, 1xEBSD detektorom, vrátane databázového softwaru na vyhodnocovanie EBSD spektier.

Technická špecifikácia:

  • Zariadenie má zabudovaný aktívny a pasívny anti-vibračný systém zabudovaný v ráme mikroskopu.
  • Výška otvoru na vkladanie a výmenu vzoriek je 40 mm.
  • Stolík na uchytenie držiaku vzoriek v pracovnej komore SEM je eucentrický, motorizovaný v 5-ich osiach, pričom jeho pohyb je riadený počítačom. Rozsah pohybu je:
    • -            v osi X:  70mm             
    • -            v osi Y:  50 mm
    • -            v osi Z:  25 mm
    • -            rotácia 360 stupňov
    • -            náklon: – 5 až 70 stupňov
  • Konštrukcia mikroskopu umožňuje inštaláciu vyhrievacieho aj kryo stolíka pri zachovaní pôvodnej požadovanej konfigurácie mikroskopu .
  • Rozsah urýchľovacieho napätia je v intervale 0,1 – 30 kV.
  • Riadenie prúdu zväzku je kontinuálne a je nezávislé od regulácie urýchľovacieho napätia.
  • Stabilita prúdu zväzku nie je horšia ako 2 % / 24 hodín.
  • Mikroskop obsahuje meniteľnú objektívovú clonu s možnosťou zmeny polohy pri pozorovaní vzorky bez nutnosti vypnutia prúdu zväzku.
  • Prúd na vzorke špecifikovaný pre urýchľovacie napätie 8kV je minimálne 70nA pre zabezpečenie stabilných analytických podmienok.
  • Prúd na vzorke špecifikovaný pre urýchľovacie napätie 15 kV je minimálne 250 nA čo zabezpečuje redukovanie nabíjania nevodivých vzoriek.
  • Prúd na vzorke špecifikovaný pre urýchľovacie napätie 30kV a pri použití objektívovej clony je minimálne 450nA.
  • Čerpací systém na vytvorenie vákua je plne automatický a umožňuje dosiahnutie vákua 10-7Pa v komore dela. Súčasťou systému je turbomolekulárna pumpa.
  • Rozlíšenie v SEI móde:
    • -            pri urýchľovacom napätí 15kV je minimálne 1,0 nm
    • -            pri urýchľovacom napätí 1kV je minimálne 1,5 nm
  • Rastrovací elektrónový mikroskop je vybavený dvomi detektormi pre spätne odrazené elektróny (BEI) a to:
  • BEI detektorom pre detekciu čistého signálu spätne odrazených elektrónov pri vysokom uhle k povrchu vzorky (BEI detektor s vysokým uhlom) a
  • BEI detektorom pre detekciu čistého signálu spätne odrazených elektrónov pri nízkom uhle k povrchu vzorky (BEI detektor s nízkym uhlom).
  • Rastrovací elektrónový mikroskop je vybavený dvomi detektormi pre sekundárne odrazené elektróny (SEI) pre zdôraznenie morfológie a detailov povrchu.
  • Na Rastrovacom elektrónovom mikroskope je nainštalovaný EDS systém s možnosťou kvantifikácie pomocou štandardov a ukladanie rôznych kvantifikačných sád. EDS obsahuje funkcie:
    • -            bodová analýza, čiarové profily, plošné mapy prvkov
    • -            možnosť predprogramovania viac analýz dopredu
    • -            plná kompatibilita EDS systému s EBSD a WDS – jedna platforma.
  • Súčasťou je EDS detektor:
    • -            SDD detektor bez potreby chladenia tekutým dusíkom
    • -            s aktívnou oblasťou 50 mm2 na 100mm2 senzora
    • -            garantované rozlíšenie je 129 eV alebo lepšie špecifikované pre Kα
    • -            s detekčným rozsah prvkov od Berýlia po Urán
  • EBSD umožňuje vyhodnotenie orientácie kryštálovej mriežky zŕn vo vybranej oblasti vzorky s možnosťou súčasného vyhodnotenia orientácií viacerých fáz a analýzy textúry
  • Plne motorizované zasúvanie a vysúvanie EBSD detektora s možnosťou nastavenia koncovej polohy
  • Optimalizovaná pozícia pre EDS a EBSD analýzy
  • EBSD detektor má prenosový pomer so snímacou CCD kamerou 1:1 na zabezpečenie prenosu celkového difrakčného záznamu z detektora do vyhodnocovacieho programu
  • Možnosť rozšírenia detektora až na 6 detekčných diód pre detekciu rozptýlených elektrónov
  • Rastrovací elektrónový mikroskop je vybavený riadiacim počítačom vybavený programovým rozhraním umožňujúcim riadenie samotného SEM (nastavenie parametrov), pre sledovanie obrazu, spracovanie obrazu, ukladanie dát (vrátane obrazov, analyzovaných dát) vo formátoch TIF, BMP a JPEG. Záznamová hustota minimálne 18 megapixelov; v stupnici šedi nie horšie ako 16 bitov
  • Riadiaci počítač s grafickým užívateľským rozhraním s WindowsTM; monitor LCD 19”; CPU min. 3.16GHz; operačná pamäť min. 3GB; sieťová karta min. 10/100 Mbps; grafická karta – s pamäťou min. 256MB a obnovovacou rýchlosťou (memory bandwidth) 12GB/s, dual link; myš, klávesnica a operačný panel na riadenie mikroskopu, tlačiareň farebná A4 na tlač vo fotografickej kvalite

Model: 

JEOL  JSM-7600 F/EDS/WDS/EBSD

Umiestnenie prístroja:

ÚACh SAV Trenčín

Zodpovedný pracovník:

doc. Ing. Peter Šimurka, PhD., psimurka@stonline.sk, 0902 055 121

Operátori:  

doc. RNDr. Ján Bezecný, CSc., Ing. Jozef Kasala, PhD.,  Mgr. Peter Švančárek, PhD., Ing. Dagmar Galusková, PhD.

elektrónový mikroskop