F : 흐름

G7에 지정된 단위로 현재 흐름을 반환합니다.

FS: % 전체 유량

현재 유량을 전체 눈금의 백분율로 반환합니다.

FR : 흐름 전력

현재의 브릿지 파워 차분 값을 돌려줍니다.

F1 : 시작 흐름 스트리밍

유량 판독 값이 1/2 초마다 출력되도록합니다.

F0 : 정지 흐름 스트리밍

1/2 초 유량 판독 출력을 정지합니다.

ZERO : Set Flow Zero

S15 UB Zero 및 S16 DB Zero를 현재 브리지 전원 판독 값으로 설정합니다. 이것의 효과는 현재 유량 값이 영점 유량 포인트가됩니다.

ZRO : 별칭 ZERO

역 호환성을 위해.

ENABLE / DISABLE

다음 측면 (ENABLE RS485) 중 하나를 활성화 / 비활성화합니다.

AUTOZERO, RATE, TRACKING, VERBOSE, RS485, PURGE, OVERRIDE, EXTERNAL 및 SHUTDOWN

자세한 내용은 S2 및 V2를 참조하십시오.

TERMINATERS485 : RS485 통신에서 종단 저항 사용

NOTERMINATERS485 : RS485 통신에서 종단 저항 비활성화

FLOK : 공장 수준 액세스 활성화 / 비활성화

공장 출하시 코드를 재설정하고 고객 수준의 변경만 허용합니다.

올바른 코드가 입력되고 모든 것을 변경할 수있는 경우 공장 수준 액세스를 사용합니다.

LOCK : Expert-User-Level 액세스 비활성화

전문가 수준 사용자 액세스 비활성화 (명령 설명에서 잠금 해제)

UNLOCK : Expert-User-Level 액세스 활성화

전문가 수준 사용자 액세스 허용 (명령 설명에서 잠금 해제)

TOFF : DAC 조정 완료

D / A 변환기 값을 메모리에 씁니다.

TDAO : DAC 제로 출력

보정 모드에서 DAC 제로 코드 (S51)와 동일한 출력 전압을 생성하고,

TDAS : DAC 스팬 출력

캘리브레이션 모드에서 DAC 풀 스케일 코드와 동일한 출력 전압을 생성하십시오 (S52)

TDAZ : DAC 제로 카운트 출력

보정 모드에서 DAC에 0 카운트와 동일한 출력 전압을 생성합니다

SS : 시스템 상태

다음 중 하나 일 수있는 현재 시스템 상태를 리턴합니다.

1 = 초기화 중

4 = 정상 작동

6 = 시스템 고장 모드 활성, 이유에 대한 STATUS 명령 전송

8 = 보정 모드

SS1 : Enter 초기화 모드

시스템을 리셋하고 전원을 시뮬레이트 한 다음 초기화 상태로 돌아갑니다.

SS4 : 정상 작동 모드 진입

보정 모드 (SS8)에서 정상 작동 (SS4)으로 시스템을 되돌립니다.

SS8 : 보정 모드로 들어갑니다.

시스템 상태를 Calibrate로 설정하고 아날로그 I / O의 조정을 허용합니다.

SFL : 시스템 전체 목록

. 제점 판별에 사용할 모든 시스템 변수를 리턴합니다.

STATUS : 현재 시스템 오류 상태

현재 시스템 상태 단어를 반환합니다. 상세 출력 모드 (S112 = 1) 인 경우 현재 활성 오류에 대한 설명을 반환합니다.

시스템 상태 단어에는 다음이 포함됩니다.

0x8000 CONTROL_BOARD_COMM_ERROR

0x4000 SENSOR_BOARD_COMM_ERROR

0x0080 UB_CURRENT_ERROR

0x0040 DB_CURRENT_ERROR

0x0008 VALVE_LATCH_ERROR

0x0004 TRACKING_ERROR

0x0002 GAS_HIGH_ALARM_ERROR

0x0001 GAS_LOW_ALARM_ERROR

ML : 상태 별칭

이전 버전과의 호환성을 위해 STATUS 명령의 별명입니다.

HISTORY : 시스템 오류 상태 기록

시스템 재설정 후 발생한 모든 상태 오류를 반환합니다.

CLEAR HISTORY : 명확한 역사

상태 기록을 지 웁니다.

FAIL CODES : 시스템 고장 코드

장치가 출고 후 또는 CLEAR FAIL CODES 명령이 마지막으로 전송 된 이후에 발생한 모든 시스템 상태 오류 코드를 반환합니다.

실패 코드에는 다음이 포함됩니다.

0x8000 CONTROL_BOARD_COMM_ERROR

0x4000 SENSOR_BOARD_COMM_ERROR

0x0080 UB_CURRENT_ERROR

0x0040 DB_CURRENT_ERROR

CLEAR FAIL CODES : (공장 기능)

실패 코드를 지 웁니다.

SL : 센서 목록 (읽기 전용)

센서 목록의 모든 항목 반환

S1 : 모델 (읽기 전용)

장치의 모델 및 소프트웨어 버전을 반환합니다.

S2 : MFM 구성 (읽기 / 쓰기)

질량 유량계 구성 워드. 이것은 장치의 전체 작동을 구성하는 16 진수 값입니다. 가능한 설정은 다음과 같습니다.

비트 15 (마스크 0x8000) 유량 알람 :

이 비트가 설정되면 흐름이 G10에 설정된 값을 초과하고 흐름이 G12에 설정된 값 아래로 떨어지면 시스템 상태 단어의 GAS_LOW_ALARM_ERROR 비트가 설정되면 시스템 상태 단어의 GAS_HIGH_ALARM_ERROR 비트가 설정됩니다.

비트 13 (마스크 0x2000) 자동 영점 :

유량 컨트롤러에만 유효합니다. 설정된 경우 시스템은 센서가 안정화되고 설정 점이 0이 된 후에 유량 영점을 재설정합니다.

비트 11 (마스크 0x0800) 추적 알람 :

유량 컨트롤러에만 유효합니다. V18의 설정을 반영합니다. 활성화 된 경우 시스템 상태 워드의 TRACKING_ERROR 비트가 설정되고 유량이 설정 점에서 V17에 의해 지정된 최대 유량의 백분율로 변동하는 경우 흐름 LED가 1/2 초 간격으로 녹색으로 깜박입니다. 2 초.

비트 7 (마스크 0x0080) 자세한 응답 :

설정된 경우, 모든 명령은 설명 정보를 리턴합니다. 설정되지 않은 경우 List 명령 (SL, GL, VL) 만 설명 정보를 반환합니다.

비트 0-2 (마스크 0x0007) 소수 자릿수 :

S14의 설정을 반영합니다. 부동 소수점 숫자의 소수점 이하 자리수입니다.

S2를 직접 변경하는 것 외에도 다음 필드를 사용하여이 필드를 변경할 수도 있습니다.

Decimal Places 필드는 S14를 통해 변경할 수 있습니다.

Enabled 또는 Disabled로 설정할 수있는 4 가지 항목이 있습니다. 세부 정보 표시 모드에서 S2 명령은 설명 텍스트가있는 현재 설정을 반환합니다. 이 네 항목은 RATE, VERBOSE, AUTOZERO 및 TRACKING과 같이 주요 기능이 대문자로 표시됩니다. ENABLE 또는 DISABLE 다음에 대문자 단어를 입력하여이 각각을 활성화 또는 비활성화 할 수 있습니다.

예를 들어 Auto-Zero를 비활성화하려면 DISABLE AUTOZERO를 입력합니다. 대소문자는 중요하지 않습니다.

Verbose Reply는 S112 명령을 통해 Enabled / Disabled로 설정할 수도 있습니다.

S5 : 장치 주소 (읽기 / 쓰기)

RS485 모드 주소 지정에 사용되는 주소. 이것은 0x01에서 0x98 및 0x9A에서 0xFF까지의 값을 받아들이는 16 진수입니다. 0x99는 BROADCAST ADDRESS입니다. 모든 장치는이 메시지를 처리하지만 명령이 S5가 아니면 응답하지 않습니다.

참고 : * 99S5 명령은 장치에 연결된 단일 장치에서만 사용해야합니다.

RS485 버스. 이 명령의 목적은 알 수 없을 때 장치의 현재 주소를 얻는 것입니다.

S6 : 활성 가스 인스턴스 (읽기 / 쓰기)

유량 계산에 현재 사용중인 가스 인스턴스 / 레코드. 유효한 값은 0 - 9입니다.

주의 사항 : 디스플레이가있는 계기의 경우 가스 기록 9는 사용자 지정 가스 구성을 위해 예약되어 있습니다. 이 레코드를 수정하면 예기치 않은 값이 표시 될 수 있습니다.

S12 : 총 유량 시간 (읽기 / 공장 쓰기)

장치가 Full-Scale의 1 % 이상 흐르는 시간입니다.

S14 : 소수점 이하 자릿수 (읽기 / 쓰기)

부동 소수점 값에 대해 표시되는 소수 자릿수입니다. 유효한 값은 0 ~ 7입니다.이 설정은 S2의 하위 3 비트에 반영됩니다.

S15 : UB Zero (읽기 / 공장 출고)

Upstream Bridge Zero 값 (와트)

S16 : DB Zero (읽기 / 공장 출하)

와트로 표시된 하류 브릿지 제로 값

S17 : 자동 영점 온도 (읽기 전용)

마지막 제로 이벤트의 센서 보드 온도

S18 : 전류 센서 온도 (읽기 전용)

현재 센서 보드 온도

S19 : 로우 패스 필터 감쇠 시간 (공장 출하시 읽기 / 공장 출고시)

센서 응답 감쇠 시간 (초). 일반적으로 원시 센서 흐름 판독 값의 평균을 50ms로하여 0.05입니다. 변경된 경우 PID를 다시 보정해야 할 수도 있습니다.

S20 : 중간 필터 게인 (팩토리 읽기 / 팩토리 쓰기)

센서 응답 게인 값. 변경된 경우 PID를 다시 보정해야 할 수도 있습니다.

S21 : 중간 필터 감쇠 시간 (공장 출하시 읽기 / 공장 출고시)

센서 응답 중기 필터 감쇠 시간 (초)

S22 : 단기 필터 게인 (팩토리 읽기 / 팩토리 쓰기)

센서 단기 반응 이득 값. 변경된 경우 PID를 다시 보정해야 할 수도 있습니다.

S23 : 단기 필터 감쇠 시간 (공장 출하시 읽기 / 공장 출고시)

센서 응답 단기 필터 감쇠 시간 (초)

S24 : SetPoint A / D FS 코드 (읽기 / 쓰기 잠금 해제)

설정 점 A / D 풀 스케일 코드. 범위는 -32768 ~ 32767입니다. CALIBRATE 상태 (SS8) 인 경우 RAM에만 값을 씁니다. 그렇지 않으면 RAM 및 FLASH에 값을 씁니다.

S25 : 외부 A / D FS 코드 (읽기 / 쓰기 잠금 해제)

외부 입력 A / D 풀 스케일 코드. 범위는 -32768 ~ 32767입니다. CALIBRATE 상태 (SS8) 인 경우 RAM에만 값을 씁니다. 그렇지 않으면 RAM 및 FLASH에 값을 씁니다.

S26 : SetPoint A / D (읽기 전용)

현재 설정 점 A / D 전압 또는 전류.

S27 : 외부 A / D (읽기 전용)

현재 외부 입력 A / D 전압 또는 전류.

S28 : 센서 스팬 (잠금 해제 읽기)

센서 스팬 값 (와트) (약 0.017). S29 센서 유형에 의해 결정됩니다.

S29 : 센서 유형 (읽기 / 공장 출고)

Sensor Type (센서 유형)은 14, 17 또는 26입니다. 고객 주문서 및 내부 라벨에도 값이 있습니다.

S30 : 평균 샘플 (읽기 / 쓰기)

직렬 포트 디스플레이 및 아날로그 출력에 사용되는 플로우 평균을 계산하는 데 사용되는 샘플 수입니다. 시스템은 매 10 밀리 초마다 새로운 유량을 읽습니다. 이러한 원시 유량 판독 값은 평균화되지 않았기 때문에 시끄 럽습니다. 이 숫자는 최종 사용자가 출력의 노이즈를 조정할 수있게합니다. 범위는 1에서 100이며 평균은 10에서 1000 ms입니다. 공장 기본값은 판독 값의 1/5 초인 평균 20입니다.

S35 : 분로 계수 (읽기 / 공장 설정 값)

이것은 SLM에서 유동 분로의 공칭 범위입니다.

S36 : 아날로그 출력 (제로 흐름) (읽기 전용)

유량이 전체 스케일의 0 % 일 때 출력되는 아날로그 출력 전압 또는 전류 값입니다. 이는 S64 Product Config에 의해 제어됩니다.

S37 : 아날로그 출력 (FS 흐름) (읽기 전용)

유량이 100 % 일 때 아날로그 출력 전압 또는 전류 값이 출력됩니다. 이는 S64 Product Config에 의해 제어됩니다.

S40 : UB 전류 (공장 읽기 전용)

Sensor Upstream Bridge 전류 판독 값입니다.

S41 : UB 전압 (공장 출하시 읽기 전용)

Sensor Upstream Bridge 전압 판독 값입니다.

S42 : DB 전류 (공장 출하시 읽기 전용)

센서 다운 스트림 브리지 전류 판독 값입니다.

S43 : DB 전압 (공장 출하시 읽기 전용)

센서 다운 스트림 브리지 전압 판독 값입니다.

S46 : UB 전원 (공장 출하시 읽기 전용)

Sensor Upstream Bridge 전원 수준.

S47 : DB 전원 (공장 출하시 읽기 전용)

센서 다운 스트림 브리지 전원 수준.

S51 : DAC Zero Code (읽기 / 쓰기 잠금 해제)

0 % 유량을 나타내는 데 사용되는 아날로그 출력 D / A 값입니다. CALIBRATE 상태 (SS8) 인 경우 RAM에 값을 기록하고 아날로그 출력을 0 % 유량을 나타내는 수준으로 설정합니다. 그렇지 않으면 RAM 및 FLASH에 값을 씁니다.

범위는 0 - 65535입니다. 기본값은 다음과 같습니다.

0 ~ 5V, 0 ~ 10V 32764

1 ~ 5V 35742

0 ~ 20 mA 0

4 ~ 20 mA 10950

S52 : DAC 해제)

아날로그 출력 D / A 값으로 100 % 유량을 나타냅니다. CALIBRATE 상태 (SS8) 인 경우 RAM에 값을 기록하고 아날로그 출력을 100 % 유량을 나타내는 수준으로 설정합니다. 그렇지 않으면 RAM 및 FLASH에 값을 씁니다.

범위는 0 - 65535입니다. 기본값은 다음과 같습니다.

0 ~ 5V, 1 ~ 5V 47654

0 ~ 10V 62545

0 ~ 20mA, 4 ~ 20mA 54670

S54 : 설명 (읽기 / 쓰기)

Comment 필드. 이를 통해 최종 사용자는 자신의 용도로 최대 63 자의 자유 형식 텍스트를 추가 할 수 있습니다. 자동 완성 명령 응답 처리는 응답 문자로 사용되기 때문에 큰 문자 '>'는 텍스트 필드에서 사용하지 마십시오.

S62 : Cal 일자 (읽기 / 공장 출하)

기기가 공장 출고시 보정 된 날짜. 최대 63자를 허용하는 텍스트 필드입니다.

S63 : 교정 온도(읽기/공장 쓰기)

장치가 공장에서 보정된 온도입니다. 이것은 텍스트 필드입니다

최대 63자를 허용합니다.

S64 : 제품 구성 (읽기 / 공장 출하)

제품 구성 단어. 유효한 설정은 다음과 같습니다.

0x00 = 0 ~ 5 볼트 유량계

0x02 = 0 ~ 10 볼트 유량계

0x08 = 1 ~ 5 볼트 유량계

0x14 = 0 ~ 20 밀리 암페어 유량계

0x1C = 4 ~ 20 밀리 암페어 유량계

0x01 = 0 ~ 5 볼트 유량 컨트롤러

0x03 = 0 ~ 10 볼트 유량 컨트롤러

0x09 = 1 ~ 5 볼트 유량 컨트롤러

0x15 = 0 ~ 20 밀리 암페어 유량 컨트롤러

0x1D = 4 ~ 20 밀리 암페어 유량 컨트롤러

이 명령을 실행하면 시스템이 자동으로 다시 시작됩니다.

S65 : NextLine (읽기 / 쓰기)

응답의 각 줄 끝에서 보낸 응답 줄 종료 문자입니다.

캐리지 리턴 (기본값)에 "S65 = x0D"를 입력하십시오.

줄 바꿈의 경우 "S65 = x0A"를 입력하십시오.

캐리지 리턴 라인 피드의 경우 "S65 = x0D0A"를 입력하십시오.

S68 : 계측기 ID (읽기 / 공장 출고)

악기의 ID 문자열. 최대 63자를 허용하는 텍스트 필드입니다.

S69 : SetPoint A / D 오프셋 (읽기 / 쓰기 잠금 해제)

설정 점 A / D 제로 코드. 범위는 -32768 ~ 32767입니다. CALIBRATE 상태 (SS8) 인 경우 RAM에만 값을 씁니다. 그렇지 않으면 RAM 및 FLASH에 값을 씁니다.

S70 : 외부 A / D 오프셋 (잠금 해제 읽기 / 잠금 해제 쓰기)

외부 A / D 제로 코드. 범위는 -32768 ~ 32767입니다. CALIBRATE 상태 (SS8) 인 경우 RAM에만 값을 씁니다. 그렇지 않으면 RAM 및 FLASH에 값을 씁니다.

S75 : 제어 보드 ID (공장 출하시 읽기 전용)

제어 보드의 16 진수 ID 및 소프트웨어 버전.

S76 : 센서 보드 ID (공장 출하시 읽기 전용)

센서 보드의 16 진수 ID 및 소프트웨어 버전.

S112 : 자세한 응답 (쓰기 전용)

Verbose Replies를 활성화 (0이 아닌 값) 또는 비활성화 (0)합니다. 이 설정은 S2의 비트 7에 반영됩니다.

GL : 가스 목록 (읽기 전용)

활성 가스 목록의 모든 항목을 반환합니다 (S6에서는 활성 가스를 지정합니다).

GILx : Gas List x (읽기 전용)

가스 기록 x에 대한 가스 목록의 모든 항목을 반환합니다. x의 유효한 값은 0 - 9입니다.

GIxy : 가스 항목 (읽기 / 공장 쓰기 기록 0, 기록 기록 1 - 9 잠금 해제)

가스 기록 #x의 #y 항목에 대한 현재 설정.

가스 기록 항목, 특히 활성 가스 기록에없는 항목을 보거나 변경하는 데 사용됩니다. 활성 가스 인스턴스 (S6)를 참조하십시오.

예 : GI410은 가스 기록 4의 가스 최고 경보 한계를 반환합니다.

GI410 = 85는 가스 기록 4의 가스 최고 경보 한계를 85 %로 설정합니다.

GICxy : (공장 기능)

가스 레코드 x를 가스 레코드 y에 복사합니다. 가스 기록 # 0으로 복사하지 않습니다.

G1 : 가스 인스턴스 (읽기 전용)

가스 기록 / 인스턴스 번호가 표시됩니다.

G4 : 가스 기호 (읽기 / 공장 출고 기록 0, 기록 1 - 9 기록 해제)

가스 기호, 예 : N2는 최대 63자를 허용하는 텍스트 필드입니다.

G7 : 단위 기호 (읽기 / 공장 출고 기록 0, 쓰기 쓰기 1 - 9)

가스 장치 심볼, 예를 들면. SLM은 최대 63자를 허용하는 텍스트 필드입니다.

G10 : 높은 알람 한계 (읽기 / 쓰기)

풀 스케일 유량에서의 최대 알람 한계. S2에서 유속 알람이 활성화 된 경우 흐름이이 값보다 2 초 이상 클 경우 STATUS 단어의 GAS_HIGH_ALARM_ERROR가 설정됩니다. 유량이 최소 2 초 동안이 값보다 2 % 낮 으면 경보가 비활성화됩니다. HISTORY 명령은 재설정 후 언제든지 알람이 발생했음을보고합니다.

G12 : 낮음 경보 제한 (읽기 / 쓰기)

풀 스케일 유량의 % 로의 낮은 알람 한계. S2에서 유속 알람이 활성화 된 경우 흐름이이 값보다 2 초 이상 작 으면 STATUS 단어의 GAS_LOW_ALARM_ERROR가 설정됩니다. 유량이 최소 2 초 동안이 값보다 2 % 높으면 알람이 비활성화됩니다. HISTORY 명령은 재설정 후 언제든지 알람이 발생했음을보고합니다.

G15 : 볼륨 단위 선택 (읽기 / 공장 Wr 레코드 0, Wr. 1-9 잠금 해제)

고객 단위가 본질적으로 체적 (예 : SLM, SCCM, SCFH) 인 경우이 값은 1로 설정됩니다.이 경우 유량 계산시 기준 온도 (G22) 및 압력 (G23)이 고려됩니다. 질량 단위 (예 : k / s, g / s, lb / 시간)가 필요한 경우이 값은 0으로 설정되고 온도와 압력은 고려되지 않습니다.

G16 : 가스 변환 계수 (읽기 / 공장 레코드 레코드 0, Wr. 1-9 잠금 해제)

가스 전환 계수 (GCF)는 고객 가스 센서 출력에 대한 질소 센서 출력의 비율입니다. 다양한 가스의 가스 전환 계수에 대해서는 공장 웹 사이트를 참조하십시오.

G17 : 스팬 보정 계수 (읽기 / 공장 Wr 레코드 0, Wr. 1-9 잠금 해제)

이 값은 악기 범위를 약간 조정하는 데 사용됩니다. 값은 보통 1.0에 가깝습니다.

G18 : 전체 스케일 플로우 (읽기 / 공장 출고 기록 0, Wr. 1 - 9 잠금 해제)

디지털로보고 된 최종 고객 단위의 전체 척도 값입니다.

G19 : 시간 계수 (읽기 / 공장 쓰기 기록 0, Wr. 1-9 잠금 해제)

1 분당 시간 단위 (예 : 0.01667 시간 / 분)로 분 단위에서 고객 단위 단위로 변환하는 데 사용 된 계수입니다.

G20 : 볼륨 팩터 (읽기 / 공장 쓰기 GI 0, WI GI 1 - 9 잠금 해제)

리터당 부피 단위 (예 : 0.0353 ft3 / L)로 분 단위에서 고객 단위 단위로 변환하는 데 사용 된 계수입니다. 질량 단위의 경우 밀도는 g / L이며 G21과 함께 사용하여 kg 또는 파운드를 얻습니다.

G21 : 질량 계수 (읽기 / 공장 쓰기 GI 0, 쓰기 GI 1 - 9 잠금 해제)

그램 단위에서 고객 단위로 전환하는 데 사용되는 계수 (예 : 1000g / kg 또는 453.59237 g / lb). 밀도 일 때 G20과 함께 사용됩니다.

G22 : 기준 온도 (° C) (읽기 / 공장 WI GI 0, WI GI 1 - 9 잠금 해제)

이것은 고객 표준 체적 단위의 기준 온도입니다. 표준 온도 0 ° C에서 고객 장치 표준 온도로 변환하는 데 사용됩니다. G15가 1 인 경우 사용됩니다.

G23 : 기준 압력 (Torr) (읽기 / 공장 Wr 레코드 0, Wr. 1-9 잠금 해제)

이것은 고객 표준 체적 단위의 기준 압력입니다. 표준 압력 760Torr에서 고객 장치 표준 압력으로 변환하는 데 사용됩니다. G15가 1 인 경우 사용됩니다.

G24 : 선형화 Coeff # 1 (읽기 / 공장 Wr. 레코드 0, Wr. 1-9 잠금 해제)

이것은 정확도를 높이기 위해 교정 데이터를 맞추기 위해 사용 된 방정식의 선형 항입니다. 커브 피트가 필요하지 않은 경우이 항은 1이고 다른 항은 0이됩니다.

G25 : 선형화 Coeff # 2 (읽기 / 공장 Wr. 레코드 0, Wr. 1-9 잠금 해제)

이것은 정확도를 높이기 위해 교정 데이터를 맞추기 위해 사용 된 방정식의 2 차 항입니다.

G26 : 선형화 Coeff # 3 (읽기 / 공장 Wr 레코드 0, Wr. 1-9 잠금 해제)

이것은 정확도를 높이기 위해 교정 데이터를 맞추는 데 사용되는 방정식의 3 차 항입니다.

G27 : 선형화 Coeff # 4 (읽기 / 공장 Wr. 레코드 0, Wr. 1-9 잠금 해제)

이것은 정확도를 높이기 위해 교정 데이터를 맞추는 데 사용되는 방정식의 4 차 항입니다.

G29 : 전체 전력 (읽기 전용)

이것은이 가스 인스턴스에 대해 계산 된 전체 스케일 센서 전력 값입니다.

G31 : 총 적산 유량 (읽기 / 쓰기)

이 총계를 마지막으로 0으로 설정 한 이후로 장치를 통해 흘렀던 총 가스량입니다. 이 가스 기록을 사용하여 흘렀던 총 가스량을 추적하는 데 유용합니다.

VL

밸브 목록 (읽기 전용)

밸브 목록의 모든 항목을 반환합니다.

V1 : MFC 모드 (읽기 / 쓰기)

질량 유량계 모드 Word - 밸브 제어 시스템의 현재 상태.

0 = DEFAULT V2 비트 1에 따라 열리거나 닫힘

1 = V4 / V5로 지정된 속도로 자동 유량 유지

2 = 밸브 드라이브는 현재 전압에서 유지되며, 대기 상태로 변경하려면 반드시 AUTO 상태 여야합니다.

3 = SHUT 밸브가 강제 닫힘

4 = PURGE 밸브가 완전 열림

5 = V28에 의해 제어되는 가변 밸브 구동

6 = ERROR 시스템 실패 활성, DEFAULT 위치의 밸브. 시스템 만이 상태로 들어갈 수 있습니다. 명령은 허용되지 않습니다.

V2 : MFC 구성 (읽기 / 쓰기)

질량 흐름 컨트롤러 구성 워드 - 다음과 같은 해석을 통해 비트 플래그를 사용하여 밸브 작동을 제어합니다.

비트 0 (마스크 0x0001) 편차 ON (항상 1, 가능)

비트 1 (마스크 0x0002) 기본 밸브 위치 (0 = 셧다운, 1 = 펑지)

비트 2 (마스크 0x0004) VALVE OVERRIDE (0 = 사용 안 함, 1 = 사용함)

비트 4 (마스크 0x0010) 제어 가능한 변수 (0 = 흐름, 1 = A / D 입력)

비트 7, 6 (마스크 0x00C0) SETPOINT SOURCE (10 = A / D 입력, 01 = V4 / V5)

비트 8 (마스크 0x0100) 하나의 퍼센트 셧다운 (0 = 사용 안 함, 1 = 사용함)

값을 직접 변경하는 것 외에도 다음 방법을 사용하여이 비트를 설정 / 해제 할 수 있습니다.

구성 가능한 4 가지 항목은 기본 밸브 위치, 밸브 오버라이드, 제어 변수 및 1 % 셧다운입니다.

verbose 모드에서 V2 명령은 설명 텍스트가있는 현재 설정을 리턴합니다. 구성 가능한 네 개의 항목에는 PURGE, OVERRIDE, EXTERNAL 및 SHUTDOWN과 같이 구성 가능한 주요 기능이 대문자로 나타납니다. ENABLE 또는 DISABLE 다음에 대문자 단어를 입력하여이 각각을 활성화 또는 비활성화 할 수 있습니다.

예를 들어 밸브 오버라이드를 사용하지 않으려면 DISABLE OVERRIDE를 입력합니다. 대소문자는 중요하지 않습니다.

V3 : 밸브 위치 (읽기 전용)

현재의 밸브 위치는 다음과 같은 해석을하는 16 진수 값으로 나타납니다.

0x10 결산

밸브 구동이 최소로 설정되고 밸브가 닫힘

0x20 PURGE

밸브 구동이 최대로 설정되면 밸브가 완전히 열림

0x30 보유

밸브 구동은 일정한 값으로 유지됩니다.

0x40 변수

밸브 구동은 V28의 값에 의해 수동으로 제어됩니다.

0x50 AUTO

밸브 드라이브가 자동으로 조정됩니다.

위의 내용은 다음 수정 자와 OR 연산을 수행 할 수 있습니다. 이 중 하나가 활성화되어 있으면 텍스트 (자세한 정보 표시 모드)에 이러한 조건 만 표시됩니다.

0x01 OVERRIDE_SHUT

밸브 오버라이드가 V2 비트 2에서 활성화되고 아날로그 오버라이드입력이 0.4VDC 미만입니다

0x02 1PERCENT_SHUTDOWN

1 % 종료는 V2 비트 8에서 활성화되며 설정 값은 1 % 미만입니다.

0x04 OVERRIDE_PURGE

밸브 오버라이드가 V2 비트 2에서 활성화되고 아날로그 오버라이드 입력이 2.4VDC보다 높습니다.

V4 : SetPoint (단위) (읽기 / 쓰기)

유량 단위의 유량 설정 값, 예. SLM

V5 : 설정 값 (% 풀 스케일) (읽기 / 쓰기)

유량 셋 포인트 (%).

V8 : 구현 된 SetPoint (단위) (읽기 전용)

유량 단위의 현재 설정 값입니다. 일반적으로 이것은 V4와 같지만 SoftStart가 활성화되어 있으면 명령이 처리 될 때 Setpoint가됩니다.

V9 : 구현 된 SetPoint (풀 스케일) (읽기 전용)

현재 셋 포인트를 % 전체 스케일로 표시합니다. 일반적으로 이것은 V5와 동일하지만 SoftStart가 활성화되어 있으면 명령이 처리 될 때 Setpoint가됩니다.

V10: 제어 변수 (읽기 전용)

% Full Scale의 제어 변수. 이것은 일반적으로 흐름이지만 V2의 비트 4가 1로 설정된 경우 A / D 입력이됩니다.

V12 : SoftStart 사용 (읽기 / 쓰기)

0이 아니면 SoftStart가 활성화됩니다. Softstart는 기본적으로 사용됩니다.

V13 : 소프트 스타트 속도 (읽기 / 쓰기)

구현 된 Setpoint가 초당 Full Scale 비율로 증가 또는 감소하는 비율입니다.

V17 : 트래킹 알람 한도 (읽기 / 쓰기)

풀 스케일에 대한 추적 알람 한계. 기본값은 2 %입니다.

V18 : 추적 알람 활성화 (읽기 / 쓰기)

0이 아니면 추적 알람을 활성화하고 0이면 추적 알람을 비활성화합니다. 활성화 된 경우 시스템 상태 워드의 TRACKING_ERROR 비트가 설정되고 흐름이 설정 점에서 V17에 의해 지정된 최대 유량의 백분율로 2 초 이상 변하면 흐름 LED가 1/8 초 간격으로 녹색으로 깜박입니다 .

V24 : PID 비례 (읽기 / 잠금 해제 쓰기)

밸브 - 비례 제어.

V25 : PID 미분 (읽기 / 잠금 해제 쓰기)

밸브 제어 파생물.

V26: : PID 적분 (읽기 / 잠금 해제 쓰기)

밸브 - 컨트롤 일체형.

V27: : 밸브 드라이브 (읽기 전용)

현재 밸브 구동 D / A 값입니다.

V28 : 수동 밸브 세트 (읽기 / 쓰기)

V1 = 5, VARIABLE 모드에서 사용 된 밸브 구동 값. 밸브를 수동으로 제어 할 수 있습니다.

V29 : 밸브 크래킹 (읽기 / 잠금 해제 쓰기)

밸브 구동 회로의 제어 바이어스 (크랙) 값.

V30 : 초기 설정 값 (읽기 / 쓰기)

장치가 OPERATE 상태가되면 MFC 모드 (V1)가 AUTO로 설정되고 밸브 제어 시스템은 일부 설정 점에서 유량 (또는 외부 프로세스 변수)을 유지하려고 시도합니다. 디지털 흐름 명령이 활성화 된 경우이 항목은 설정 점을 정의합니다. 그렇지 않으면 아날로그 설정 점이 사용됩니다.

DEFAULT 또는 ERROR 모드에서 OPERATE 모드로 들어가면 V2 비트 1에 지정된 기본 밸브 위치에 따라 밸브 위치가 OPEN 또는 CLOSED가됩니다. V30이 변경되지 않은 경우 기본 초기 설정 값은 1000 기본 밸브 위치는 OPEN이고 닫 으면 0 %입니다.