論壇邀請專題演講

大尺寸粒子影像測速（LPIV）在半導體製造中自動物料傳輸系統（AMHS）的微污染控制方面的一些應用

演講摘要

過去三十年來，積體電路（IC）技術的發展極大地改變了我們的生活方式。 IC尺寸的縮小主要歸功於技術節點的顯著縮小（從1990年代的800~200奈米縮小到今天的3奈米甚至更小）。在製造過程中，矽晶圓的污染控制面臨更嚴峻和重要的挑戰。在製造過程中或晶圓儲存過程中可能存在的污染物包括顆粒、氧氣、水分和空氣中的分子污染物（AMC）等，這些污染物會導致良率下降和裝置性能劣化。本次演講將聚焦在大尺寸粒子影像測速（LPIV）技術在半導體製造過程中微/奈米污染控制的應用，並著重闡述下一代技術節點面臨的挑戰。演講還將討論一些成功的案例，並展示一些視頻，說明自動物料傳輸系統（AMHS）、晶圓盒和潔淨室中的流場可視化效果。

演講人 簡歷

胡石政(Shih-Cheng Hu）（英國利物浦大學博士）。在工業界擔任了兩年的空調工程師和在工業技術研究院 (ITRI)擔任六年的研究人員後，他於 1998 年加入國立台北科技大學 (NTUT)， 2006年為正教授，2014年為特聘教授。2023年，他被授予「講座教授」頭銜，在台北科技大學,「講座教授」的名額佔全部正教授名額的3% ,授予透過研究或創造性工作的傑出成就為大學品質做出獨特貢獻的教授。胡教授是潔淨技術和製程微污染控制領域的知名研究人員之一。他的創新發明「晶圓自動處理系統微污染控制的整體解決方案」已成為當今10奈米以下製程設備FOUP Gas Purge的標準配備。他在台北科技大學建立了「潔淨技術研發中心」和「半導體廠務與製程設備中心」, 過去25年已獲非常多的外部研究經費/贊助，並指導了180多名碩士、博士和博士後.。他是《美國冷凍空調師協會(ASHRAE）無塵室設計指南》一書的主要著者，該書共有21章/425頁。他是 ASHRAE 的Fellow會員。胡教授曾獲頒很多獎項、其中之一是他2022年獲得‘國家產學大師獎’（工程類唯一得獎）、 表揚他多年對教育及產業界的貢獻，並榮幸與”國家講座主持人獎”同時由總統頒獎。

數位畫作的視覺化展示從擷取到播放

演講摘要

本演講將介紹一項新穎的油畫數位化與虛擬展示技術研究。傳統油畫影像記錄方式因僅依據色彩資訊，無法捕捉表面光澤、紋理細節與方向反射等關鍵特徵，導致數位再現的真實性不足。演講將闡述我們如何整合偏光結構光三維掃描、物理基礎渲染(PBR)與人工智慧技術，開發一套自動化的油畫數位化取像設備。透過偏光攝影與穆勒矩陣模型，系統能精確記錄油畫的表面幾何、材料反射特性與複雜紋理。該研究成果已成功實現擬真寫實的3D數位資料呈現。關於播放技術，含涵蓋AI輔助筆觸生成、大尺度無縫拼接、人機互動式數位展示，以及在具有表面奈米塗層的顯示器上精確呈現。這對文化資產的視覺化數位保存、虛擬美術館建置，與數位藝術創新應用具有重要的實踐價值。

演講人 簡歷

林宗翰博士目前為國立臺灣科技大學色彩與照明科技研究所專任教授。

林博士於2006年取得國立臺灣大學機械工程博士學位。於2007年他加入工業技術研究院，並成為資深工程師。於2007與2008年期間，他至卡內基美隆大學擔任訪問學者研究。自從2011年起，林博士開始於國立臺灣科技大學服務至今成為教授。於2015與2017年間，他擔任鈺創公司的技術顧問。2020年與2022年，他分別獲得國立臺灣科技大學的優良研究獎與教學優良獎。

林博士的研究興趣涵蓋：物理渲染材質(PBR)、3D彩色影像、3D掃描技術、3D資料處理、電腦圖學、電腦視覺以及3D列印相關主題。他已有超過80篇同儕審查論文以及超過25個發明專利。基於他所主持的研究計畫基礎，他成功地發展出多項商業化產品並於市場上銷售，特別是集中在3D尺寸與色彩相關測量技術。