OMRON溫度均一控制

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Solution

解決提案

超越人類的自動化

溫度均一控制

應用業界：半導體/車載半導體

應用範圍

半導體&車載半導體：提升晶圓面溫度的均一性，實現良率改善

課題

加熱器與工件間有複雜的熱干涉關係，標準化困難，因此需熟練者來調適參數，

耗費人力工時，甚至有可能花時間調整後，也無法做到最佳化調整。

解決方案

我們獨特的溫度控制技術，可以實現超越熟練作業員的精確溫度調節自動化

設備個別所需要的工程工時削減，透過改善成膜、圖形(Pattern)成形的不均、使微細/多層化的半導體的良率提升

以模型為基礎使工件溫度的升溫不均最小化，自動算出加熱器設定溫度，透過温度測量記錄儀及Function Block，可以生成多點工件温度模式，此為歐姆龍特有的模式，可以高精度展現複雜的熱干涉及其時間變化。

*Function Block是弊社控制器內實行演算的程式

能自動算出使工件溫度達到理想溫度分布的加熱器設定溫度(SV)，使用最適化計算機能，實現目標的工件温度的SV的組合，能於PLC上進行高速運算。

系統架構

成效

影片介紹

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