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Solution
解決提案
超越人類的自動化
溫度均一控制
應用業界:半導體/車載半導體
應用範圍
半導體&車載半導體:提升晶圓面溫度的均一性,實現良率改善
課題
加熱器與工件間有複雜的熱干涉關係,標準化困難,因此需熟練者來調適參數,
耗費人力工時,甚至有可能花時間調整後,也無法做到最佳化調整。
解決方案
我們獨特的溫度控制技術,可以實現超越熟練作業員的精確溫度調節自動化
設備個別所需要的工程工時削減,透過改善成膜、圖形(Pattern)成形的不均、使微細/多層化的半導體的良率提升
多點工件溫度模式技術
以模型為基礎使工件溫度的升溫不均最小化,自動算出加熱器設定溫度,透過温度測量記錄儀及Function Block,可以生成多點工件温度模式,此為歐姆龍特有的模式,可以高精度展現複雜的熱干涉及其時間變化。
*Function Block是弊社控制器內實行演算的程式
最適化計算技術
能自動算出使工件溫度達到理想溫度分布的加熱器設定溫度(SV),使用最適化計算機能,實現目標的工件温度的SV的組合,能於PLC上進行高速運算。
系統架構
成效
減少調適參數工程工時
透過Tact Time/品質提升及節能來提升設備附加價值
影片介紹