Завдання, які вирішуються в межах даного напряму:
Встановлення взаємозв’язків між статистичними i стохастичними параметрами випадкових об’єктів та розсіяних ними когерентних оптичних полів.
Розробка методів і засобів кореляційно-оптичної діагностики випадкових та фрактальних фазово-неоднорідних об’єктів, шорстких поверхонь і дисперсних середовищ.
Розробка та реалізація методів контролю шорстких поверхонь
1. O.V. Angelsky, P.V. Polyanskii, P.P. Maksimyak, I.I. Mokhun. Some current views on metrology of coherence and polarization in sight of singular optics. [in] Handbook of Coherent-Domain Optical Methods: Biomedical Diagnostics, Environmental and Material Science. – Monograph, ed. by V.V. Tuchin. – Springer Verlag (2013).
2. O.V. Angelsky, P.V. Polyanskii, P.P. Maksimyak, I.I. Mokhun, C.Yu. Zenkova, H.V. Bogatyryova, Ch.V. Felde, V.T. Bachinskiy, T.M. Boichuk, A.G. Ushenko, “Optical measurements: polarization and coherence of light fields”. [in] Modern Metrology Concerns. – Monograph, ed. by Luigi Cocco. – InTech (2012), ISBN 959-953-307-336-0. (54 pp).
3. O.V.Angelsky, P.P.Maksimyak “Optical correlation diagnostics of surface roughness in Optical Correlation Applications and Techniques, (SPIE Press, Bellingham, 2007)” (до 14 др. арк.)
4. O.V.Angelsky, P.P.Maksimyak Chapter 2. Optical correlation diagnostics of surface roughness in coherent-domain optical methods Biomedical Diagnostics Environmental and Material Science (V.V. Tuchin, ed.), Kluwer Academic Publishers, 2004. – P.67-119.
5. Angelsky O. V., Maksimyak P. P., Hanson S. The Use of Optical-Correlation Techniques for Characterizing Scattering Object and Media. - Bellingham: SPIE Press PM71, 1999. - 194p.
1. А.с. 1597537 СССР, МКИ G 01 B 11/30. Способ измерения шероховатости поверхности изделия и устройство для его осуществления /О.В.Ангельский, П.П.Максимяк (CCCP). - № 4460223/24-28; Заявлено 23.05.88; Опубл. 07.10.90, Бюл. № 37.-3с.
2. А.с. 16I0260 СССР, МКИ G 01 B 11/30. Способ определения профиля шероховатости поверхности изделия и устройство для его осуществления /О.В.Ангельский, П.П.Максимяк (CCCP). - № 4428416/25-28; Заявлено 23.05.88; Опубл. 30.11.90, Бюл. № 44.-3с.
3. А.с. 1585673 СССР, МКИ G 01 B 11/30. Способ измерения шероховатости поверхностей прозрачных плоскопараллельных пластин / О.В.Ангельский, П.П.Максимяк (CCCP). - № 4430626/25-28; Заявлено 23.05.88; Опубл. 15.08.90, Бюл. № 30.-3с.
4. А.с. 1456779 СССР, МКИ G 01 B 11/30. Способ определения параметров шероховатости слабошероховатой поверхности и устройство для его реализации / О.В.Ангельский, П.П.Максимяк и И.И.Магун, (CCCP). - № 4265735/24-28; Заявлено 22.06.87; Опубл. 07.02.89, Бюл. № 5.-3с.
5. А.с. 1447113 СССР, МКИ G 01 B 9/021. Способ измерения параметров шероховатости поверхности и устройство его реализующее / О.В.Ангельский, П.П.Максимяк (CCCP). - № 4018962/24-28; Заявлено 10.02.86; Опубл. 15.07.88, Бюл. № 26.-4с.
6. А.с. 1302141 СССР, МКИ G 01 B 11/30. Способ измерения высоты микронеровностей шероховатосой поверхности и устройство его осуществления / О.В.Ангельский, П.П.Максимяк (CCCP). - № 3881509/24-28; Заявлено 10.04.85; Опубл. 08.12.86, Бюл. № 13.-4с.
1. Oleg V. Angelsky, Andrew P. Maksimyak, and Peter P. Maksimyak "Control surface roughness of mirror", Proc. SPIE 11718, Advanced Topics in Optoelectronics, Microelectronics and Nanotechnologies X, 117181G (31 December 2020); https://doi.org/10.1117/12.2571208
2. O.V. Angelsky, A.P. Maksimyak, P.P. Maksimyak Interference Measurement of Surfaces Roughness, Proc. Fringe 2013, 2014, pp 551-554.
3. O. V. Angelsky, A. P. Maksimyak, P. P. Maksimyak, Interference Measurement of Rough Surface Relief // Proceedings SENSOR+TEST Conference, 26-28 May 2009, Nürnberg, Germany, Vol 3, pp. 161-166.
4. V. Angelsky, O. P. Maksimyak, A. P. Maksimyak, P. O. Angelsky Optical correlation diagnostics of surfaces// Proc. SPIE. - 2008. - Vol. 7008 15 [7008-41]. – p. 1-12.
5. O.V.Angelsky, A.P. Maksimyak, P.P.Maksimyak, Interference diagnostics large-scale surfaces Proc. SPIE. - 2007. - Vol. 6635.
6. O.V.Angelsky, A.P. Maksimyak, P.P.Maksimyak, Optical correlation measurement of surface roughness Proc. SPIE. - 2007. - Vol. 6616.
7. O.V.Angelsky, A.P. Maksimyak, P.P.Maksimyak, Computer and experimental modeling of light scattering at random and fractal surfaces Proc. SPIE. - 2007. - Vol. 6617.
8. O. V. Angelsky, S. G. Hanson, A. P. Maksimyak, and P. P. Maksimyak, “Interference Diagnostics of Surfaces” Optical Memory and Neural Networks (Information Optics), 16, 269–280(2007).
9. O.V.Angelsky, A. P. Maksimyak, P. P. Maksimyak, Optical correlation measurement of surface roughness, Symposium on Optical Metrology, June 2007, Munich, Germany.
10. O.V.Angelsky, S. G. Hanson, A. P. Maksimyak, P. P. Maksimyak Optical correlation diagnostics of rough surfaces with large surface inhomogeneities Opt. Express. -2006. – V. 14. –P. 7299-7311.
11. O.V. Angelsky, D.N.Burkovets, G.V. Demyanovskii, P.P.Maksimyak, Singular-optics approach for classification of the rough surfaces Proc. of 6th Int. Conf. “OPTO 2004”, May 25-27, 2004, Nuremberg, Germany, pp. 341-346.
12. O.V. Angelsky, D.N. Burcovets, I. M. Grigiraschuk P.P.Maksimyak, Optical correlation diagnostics of rough surfaces: statistical and fractal approach, Proc. SPIE. – 2004. – V. 5477. – P. 114-130.
13. O.V.Angelsky, P.P.Maksimyak, Techniques and devices for optical correlation diagnostics of rough surfaces Proc. SPIE. – 2004. – V. 5477. – P. 375-380.
14. O.V. Angelsky, G.V. Demyanovskii, P.P.Maksimyak Portable device for roughness measurement // Materials of the Int. Conf. “Mechatronics 2004”, September 23-25, 2004, Warsaw, Poland, pp.246-247.
15. O.V. Angelsky, D.N.Burkovets, G.V. Demyanovskii, P.P.Maksimyak Singular-optics approach for classification of the rough surfaces // Materials of the Int. Conf. “Mechatronics 2004”, September 23-25, 2004, Warsaw, Poland, pp. 259-262.
16. O.V.Angelsky, D.N.Burkovets, S.G.Hanson, P.P.Maksimyak “Applicability of the singular-optics concept for diagnostics of random and fractal rough surfaces” Appl. Opt., V.42, №22, 2003, p. 4529 – 4540.
17. O.V.Angelsky, P.P.Maksimyak, “New feasibilities for characterizing rough surface by optical cirrelation techniques”, Proc. SPIE. 2003. – V.5227. – P.26-35.
18. O.V.Angelsky Optical Correlation Technique for Characterizing of Rough Surfaces Proc. OPTO 2002, - P.91-96.
19. O.V.Angelsky, P.P.Maksimyak “New optical coppelation techniques for characterizing rough surfaces”, Proc. SPIE, V.4829, (2002), p.589-590.
20. O.V.Angelsky,G.V.Demyanovsky, P.P.Maksimyak “Interference methods for measuring of rough surfaces”, Proc. SPIE, V.4900, (2002), p.715-721.
21. O. V. Angelsky, P.P. Maksimyak, V.V. Ryukhtin, Steen G. Hanson, New Feasibilities for Characterizing Rough Surfaces by Optical-Correlation Techniques, Applied Optics v.40 (2001) pp. 5693-5707.
22. Angelsky O., Buchkovsky I., Maksymyak P., Neduzhko M. Fast-acting interference devices for surface roughness diagnostics // Proc. SPIE. – 1997. - V.3317. - P.280-286.
23. Maksimyak P. P. Interference devices for noncontact diagnostics of arbitrarily shaped rough surfaces // Proc. SPIE. – 1997. - V.3405. - P.1022-1026.
24. Angelsky O. V., Maksimyak P. P. Optical diagnostics of slightly rough surfaces // Applied Optics. - 1992. - V.30, №1. - P. 140-143.
25. Angelsky O.V., Magun I.I., Maksimyak P.P. Optical diagnostics of slightly rough surfaces // Proc. Intern. Conf., "From Galileo’s "occhialino" to optoelectronics: frontiers of optical systems and materials". – Padova (Italy). – 1992. – P.A1.
26. Angelsky O.V., Buchkovsky I.A., Maksimyak P.P., Perun T.O. A fast interference method for measuring the degree of surface roughness. // Journal of Modern Optics. - 1991. - V.38. - N1. - P.1-4.
27. Angelsky O.V., Maksimyak P.P Interference correlator for measuring surface roughness // Journal of Modern Opt. - 1991. - V.38, N1. - P.1483-1486.
28. Angelsky O.V., Maksimyak P.P., Perun T.O. Optical correlation systems for studeing weak surface roughness P.53-56// "FRINGE-89", Automatic Processing of Fringe Patterns / edited by W.Osten, R.J.Pryputniewich, G.T.Reid, H.Rottenkolber. – Berlin: Akademik-Verlag, 1989.
29. Angelsky O.V., Buchkovsky I.A., Maksimyak P.P., Perun T.O. A fast interference method for measuring the degree of surface roughness // Proc. of Ernst Abbe Conference. – Jena (Germany). – 1989. – P.15.
30. Angelsky O.V., Maksimyak P.P. Interference correlator for measuring surface roughness // Proc. of Ernst Abbe Conference. – Jena (Germany). – 1989. – P.20.
Прилади для контролю шорсткості
Портативний пристрій для вимірювання Rq слабошорстких поверхонь
Технічні параметри
Діапазон значень Rq - 0,005 до 0,12 мкм
Точність вимірювання - 0,002 мкм
Схема вимірювання - поляризаційний інтерферометр
Швидкість вимірбвання - одне вимірювання в секунду
Напруга живлення - 6 В
Сфери застосування:
• контроль якості поверхні під час виготовлення деталі;
• може бути виконаний або як вимірювальна головка, або як стаціонарний прилад
Стаціонарний прилад для он-лайн контролю
Технічні параметри
Діапазон середньоквадратичних значень - 0,002 до 0,08 мкм
Точність вимірювання - 0,001 мкм
Схема вимірювання - поляризаційний інтерферометр
Швидкість індикації - 5 вимірювань в секунду
Вказані одиниці вимірювання - мікрометри
Напруга живлення - 220 В
Сфери застосування:
• поверхні довільної форми з радіусом кривизни більше 0,2 м;
• фотохімічна промисловість для контролю якості календарних валів;
• космічна промисловість для моніторингу якості дзеркал, виготовлених алмазним мікроточінням;
• контроль якості поверхні під час виготовлення деталі.
Прилад для контролю шорсткості поверхні на основі вимірювання дисперсії фази граничного поля
Технічні параметри
Діапазон значень Rq - 0,0005 до 0,06 мкм
Точність вимірювання - 0,002 мкм
Схема вимірювання - поляризаційний інтерферометр
Швидкість вимірювання - одне вимірювання за 5 секунд
Напруга живлення - 220 В
Сфери застосування:
• плоскі та сферичні поверхні з радіусом кривизни до 0,1 м;
• контроль якості поверхні під час виготовлення деталі
Рельєф випадкової поверхні
Рельєф регулярної поверхні